附件32.1

首席執行官和首席財務官的認證

依據《美國法典》第18編第1350條,

根據以下規定通過

2002年薩班斯-奧克斯利法案第906節

與MKS儀器公司10-K表格年度報告有關。(the“公司”)於本報告日期向美國證券交易委員會提交的截至2021年12月31日止期間的報告(“報告”)萬億.e以下簽名,John t.C.公司總裁兼首席執行官Lee和Seth H。公司高級副總裁、首席財務官兼財務主管Bagshaw特此證明,根據美國法典第18條根據2002年《薩班斯-奧克斯利法案》第906條通過的第1350條,根據其所知:

 

 

(1)

該報告完全符合1934年《證券交易法》第13(A)或15(D)節的要求;以及

 

 

(2)

該報告所載資料在各重大方面均公平地反映了本公司的財務狀況及經營結果。

 

日期:2022年2月28日

/s/ John TC李

約翰·TC李

總裁與首席執行官

(首席行政主任)

 

日期:2022年2月28日

/s/ Seth H.巴格肖

塞斯·H巴格肖

首席財務官兼財務主管高級副總裁

(首席財務官)