附件23.1

獨立註冊會計師事務所的同意

我們特此同意在表格S-3的註冊聲明中以引用的方式納入其中（No. 333-34450和333-109753）和表格S-8（No. 333-78069、333-78071、333-78073、333-31224、333- 54486、333- 54488、333 -54490、333-90498、333 - 90500、333- 90502、333-116385、333 - 116387、333- 116389、333-127221、333-161211、333-195750、333-211026和333-229483）MKS儀器公司我們日期為2022年2月28日的報告，涉及合併財務報表和財務報表附表以及財務報告內部控制的有效性，該報告出現在該表格10-k中。

/s/普華永道會計師事務所
波士頓，馬薩諸塞州

2022年2月28日