子公司

成立為法團的司法管轄權

Atotech Manufacturing，Inc

特拉華州

北京紐波特光譜物理技術有限公司公司

中國

歐洲電氣科學工業有限公司

聯合王國

電工科學工業有限公司

德國

新加坡電氣科學工業有限公司公司

新加坡

雷克託科學工業股份有限

俄勒岡州

ESI中國公司

俄勒岡州

艾世衞電子設備（上海）有限公司公司

中國

ESI國際公司

俄勒岡州

ESI日本萬.k.

日本

ESI韓國公司

韓國

ESI越南有限公司

越南

High Q Laser GmbH

奧地利

微控制光譜-物理SAS

法國

收件箱有限責任公司

特拉華州

MKS丹麥ApS

丹麥

MKS德國控股有限公司

德國

MKS儀器（中國）有限公司

中國

MKS儀器（香港）有限公司

香港

MKS儀器（新加坡）私人。公司

新加坡

MKS儀器德國有限公司

德國

MKS儀器ESI瑞士有限公司

瑞士

MKS儀器控股有限公司

聯合王國

MKS儀器以色列有限公司

以色列

MKS儀器意大利有限公司

意大利

MKS儀器墨西哥S. de R.L. de C.V.

墨西哥

MKS儀器英國有限公司

聯合王國

MKS日本公司

日本

MKS韓國有限公司

韓國

MKS Spectra Holdings Limited

聯合王國

MKS臺灣科技有限公司

臺灣

Newport Corporation

內華達州

紐波特儀器加拿大公司

加拿大

紐波特激光控股有限公司

奧地利

紐波特奧菲爾控股有限公司

以色列

紐波特光電子技術（新加坡）私人。公司

新加坡

紐波特光電子技術（蘇州）有限公司

中國

紐波特光譜物理公司

荷蘭

紐波特光譜物理有限公司

德國

紐波特光譜物理有限公司

聯合王國

奧菲爾日本有限公司

日本

奧菲爾光學SRL

羅馬尼亞

奧菲爾光電有限公司

以色列

奧菲爾光電解決方案有限公司

以色列

Ophir Spiricon Europe GmbH

德國

Ophir-Spiricon，LLC

猶他州

Photon Control（USA）Inc.

特拉華州

Photon Control Inc.

加拿大

Spectra-Physics萬.k.

日本

V-Gen有限公司

以色列