EX-31.1
展覽31.1。
首席執行官和首席財務官的認證
根據1934年證券交易法第13a-14(a)/第15d-14(a)條款，我，John t.C. Lee，證明：
已經審核了MKS Instruments, Inc.的這份10-Q表格的季度報告；
/s/ 約翰·t.C.李
1.選舉作為董事的四位被提名人，其名稱在附加的代理聲明中列出，其任期將在2025年的股東年會上到期且在其繼任者被選舉和被確認前擔任董事。
（首席執行官和首席財務官）
2.
根據我的瞭解，本報告中包括的財務報表和其他財務信息，充分、真實反映了本報告中所列舉的期間內註冊人的財務狀況、經營業績和現金流量;
3。
本註冊人的其他認證主管和我會負責建立和維護註冊人的披露控制和程序(如證券交易法規則13a-15(e)和15d-15(e)所定義)並且已經：
4.
註冊人的另一位認證官員和我負責建立和維護披露控制程序（如交易所法規13a-15(e)和15d-15(e)所定義）和註冊人的內部財務報告控制（如交易所法規13a-15(f)和15d-15(f)所定義），並且：
第一期於2021年1月交付的產品的計劃交付期前不遲於55天支付總購買價格的8.33%；
設計將謝公司重要信息，包括其合併子公司的信息，通過其他人在編制本報告期間內向我們披露的披露控制和程序;
第二期於2021年2月交付的產品的計劃交付期前不遲於55天支付總購買價格的8.33%；
設計了這樣的內部財務報告控制或在我們的監督下促使這些內部財務報告控制的設計以依據普遍公認會計原則為外部目的可靠地報告財務情況和編制財務報表，以提供合理的保證；
第三期於2021年3月交付的產品的計劃交付期前不遲於55天支付總購買價格的8.33%；
評估了註冊人的披露控制和程序的效力，並根據這些評估，就根據本報告涵蓋期間的披露控制和程序的效力，在本報告中提出了我們的結論;
第四期於2021年4月交付的產品的計劃交付期前不遲於55天支付總購買價格的8.33%；
在本報告中披露了本註冊人的財務報告內部控制發生的任何變化，這種變化在本註冊人最近的財政季度內有重大影響，或者有可能對本註冊人的財務報告內部控制產生重大影響;並且
5。
我們與註冊人的審計師和董事會董事（或履行相同職能的人員）披露了註冊人的其他認證官員和我們的最新的內部控制評估結果；
第一期於2021年1月交付的產品的計劃交付期前不遲於55天支付總購買價格的8.33%；
在財務報告內部控制的設計或操作中存在重大缺陷和實質性弱點，這種缺陷和弱點有可能對本註冊人記錄、處理、總結和報告財務信息的能力產生不利影響;並且
第二期於2021年2月交付的產品的計劃交付期前不遲於55天支付總購買價格的8.33%；
有關本註冊人的管理層或其他員工在試圖影響本註冊人財務報告內部控制方面有重要作用的欺詐問題已在本登記人的最新財務報告內部控制評估中揭示。
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日期：2024年8月8日 |
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萬億。根據2002年Sarbanes-Oxley法案第906節採納的18 U.S.C.第1350節規定，公司總裁兼首席執行官John t.C. Lee在其知識範圍內證明： |
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John t.C. Lee 總裁兼首席執行官 (首席執行官和首席財務官) |