附件32.1

AMTECH SYSTEMS，INC.及其子公司

證明

根據2002年Sarbanes-Oxley法案第906條所採納的做法，18 U.S.C.第1350節説明：

根據採用的方法，

2002年Sarbanes-Oxley法案第906條的規定：

就Amtech Systems, Inc. (以下稱“公司”)截至2024年6月30日的第10-Q表格所載季度報告（以下稱“報告”）而言，在本日提交給證券交易委員會的文件中，本人 Robert C. Daigle，公司董事長兼首席執行官，根據 18 U.S.C. 第 1350 節以及 Sarbanes-Oxley Act of 2002 第 906 節採用的規定，特此證明據我所知:

(1)
報告完全符合1934年證券交易法第13（a）或第15（d）條的要求；以及
(2)
報告中所包含的信息在所有重要方面公正地展示了公司的財務狀況和運營結果。

 

作者：

 

/s/ Robert C. Daigle

 

 

Robert C. Daigle

 

 

董事長兼首席執行官

 

 

Amtech Systems, Inc.

 

 

 

日期：

 

2024年8月7日

 

上述證明是根據 18 U.S.C. 第 1350 節提供的，不是為了修改1934年修訂版的證券交易法 第18條的目的，也不得作為公司任何文件的一般納入語言，無論是任何納入性文件。