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附錄 32.1

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AXCELIS 科技股份有限公司

首席執行官的認證

根據《美國法典》第 18 編第 63 章第 1350 節

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就美國法典第18編第63章第1350條而言（由2002年《薩班斯-奧克斯利法案》第906條實施），特拉華州的一家公司Axcelis Technologies, Inc. 的首席執行官特此證明如下：

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本10-Q表季度報告完全符合1934年《證券交易法》（15 U.S.C. 7800萬或78o（d））第13（a）或15（d）條的要求，此處包含的信息在所有重大方面公平地列出了公司的財務狀況和經營業績。

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以下籤署人已於 2024 年 8 月 1 日執行本認證，以昭信守。

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