展覽10.1

執行版本

第四次修訂貸款協議

此第四次修訂貸款協議（以下簡稱“修訂”），於2024年7月23日簽訂，由MKS INSTRUMENTS，INC.作為母公司借款人（以下簡稱“母公司借款人”），其他貸款方當事人，JPMORGAN CHASE BANk，N.A.（下列“JPM”）作為管理代理，以及本貸款協議項下的每個2024-1期b參與貸款人（如下所定義）（包括根據簽署2024-1美元期b參與通知（如下所定義）或簽署2024-1歐元期b參與通知（如下所定義）的貸款人，在當日期間，與本貸款協議項下籤署的某一筆貸款協議）（以下簡稱“2024-1期b參與貸款人”，與其他放貸人一同構成“放貸人”）之間簽署，根據那份貸款協議，簽署時間為2022年8月17日，其中包括其他貸方，指和時，以此時“放貸協議”)。此外，本文件內和沒有定義一個大寫字母的其他位置有給出含義的字詞，均適用於該貸款協議。

證明如下

此外，還參考了2024年6月17日的某份承諾函（以下簡稱“承諾函”）的內容。該文件是母公司借款人和JPm（以下簡稱“承諾方”）之間的某項承諾函，經修改、補充或豁免。

MKS居首，Barclays Bank PLC、BofA Securities, Inc.、Citibank, N.A.、HSBC Securities (USA) Inc.、Mizuho Bank, Ltd.、Morgan Stanley Senior Funding, Inc.和PNC Bank, National Association分別被任命為本次修訂和由此產生的交易的共同引薦人和共同主導管理者。

截至本次修訂生效之日及在不給任何修訂留足餘量的情況下，母公司借款人在現有貸款協議項下已取得2023-1美元期b貸款，其中剩餘的合計本金為2,649,518,987.34美元（下稱“現有2023-1美元期b貸款”）和2013年期b歐元貸款。Eur的初始貸款，其中合計剩餘本金為8億歐元（下稱“現有初始歐元b期貸款”），持有現有期b貸款的每個貸款人，貸款協議生效前和貸款協議生效後即為“現有期b貸款人”

根據現有貸款協議第2.18條，作為母公司借款人、管理代理和提供特定再融資債務的每個貸款方，可以使用再融資修訂來修改現有貸款協議，以新增條款貸款設施，以便將現有任何一個期限貸款插入到進行全面再融資。貸款轉換可能存在的任何部分;

根據現有貸款協議第2.18條，母公司借款人希望將現有2023-1美元期B貸款重新融資（i）使用新的2,650萬美元美元期b貸款（下稱“美元B期貸款”）資助現有的美元高級抵押眾籌期b貸款，（ii）使用新的億歐元期b貸款（下稱“歐元B期貸款”）資助現有的高級歐元抵押造砌眾籌期b貸款，其中合計擔保憑證金額為8.0億歐元；

第四次修訂借貸協定，於2024年7月23日簽署，由MKS Instruments, Inc.作為母公司借款人，其他貸款方當事人，JPMorgan Chase Bank，N.A.作為管理代理，以及每個貸方當事人締約（包括根據簽署2024-1美元期b參與通知或簽署2024-1歐元期b參與通知的貸款人，在當日期間，與本貸款協議項下籤署的某一筆貸款協議）。

行政代理機構可以批准）或（ii）一份2024-1歐元期限b參與通知書（“2024-1歐元 期限b參與通知”），其基本格式附件C所附（或行政代理機構可能批准的其他格式），並在其中選擇“無現金結算選項” （在該容量下的每個貸款人，均視為“2024-1美元期限b轉化貸款人”或“2024-1歐元期限b轉化貸款人”，視為 適用，以及統稱為“2024-1期限b轉化貸款人”）應視為已交換其2024-1未再定價的期限b貸款的未償本金，或根據2024-1期限b貸款的辛迪加分配的較少金額（如下定義），用於在信貸協議下購買等額的2024-1期限b貸款;

鑑於，在第四修正案生效日期（如下所定義）上，每個執行並提交2024-1歐元期限b參與通知並在其中選擇“現金結算選項”的現有期限b貸款人應在信貸協議下購買2024-1歐元期限b貸款，該貸款的未償本金金額等於其現有的初始歐元期限b貸款，或者由委託方為了2024-1歐元期限b貸款的辛迪加而分配的較少金額;

鑑於，在第四修正生效日期，在本修正案的直接對應件中籤署並提交的每個人作為（i）2024-1美元期限b參與貸款人（這些人士中的每一個在此容量下均被視為“2024-1美元期限b資金貸款人”，同時每個2024-1美元期限b轉化貸款人簽署並提交2024-1美元期限b參與通知，2024年1年1月，則 “2024-1美元期限b參與貸款人”），或（ii）2024-1歐元期限b參與貸款人（這些人士中的每一個在此容量下都是視為“2024-1歐元期限b資金貸款人”，同時每個2024-1歐元期限b轉化貸款人簽署並提交2024-1歐元期限b參與通知，則“2024-1歐元期限b參與貸款人”）和2024-1美元期限b參與貸款人債方借款人將提供2024-1美元期限b承諾（如下定義）或2024-1歐元期限b承諾資金貸款，視情況而定，其收益將由借款人以部分償還2024-1未再定價的期限b貸款;

鑑於，為實現2024-1期限的貸款和2024-1期限b承諾（如下定義），借款人，行政代理，每個2024-1期限b參與貸款人和本方其他方已經同意對現有信貸協議進行某些修改在此記載;

鑑於，（a）2024-1期限b參與貸款人願意按照本修正案和信貸協議的條款和條件授予所述貸款延期貸款，在此情況下，並（b）在必要的情況下，行政代理和借款人同意2024-1期限b參與貸款人分別提供2024- 1美元期限b貸款或2024-1歐元期限b貸款，視情況而定，作為信貸協議下的貸款人;

鑑於，各貸款方作為本方債務人，預計將因本修正案生效和完成此處規定的交易而獲得重大直接和間接利益，並同意重新確認其根據貸款協議，抵押文件和其他貸款文件的義務它是一方。

2

協議內容

鑑於，考慮到這裏所載明的前提和相互協議及其他具有價值的考慮，收到並足夠的是在此承認的，各方在此約定如下:

第一條

2024-1美元期限b貸款和2024-1歐元期限b貸款

第1.01節2024-1美元期限b貸款和2024-1

（a）（i）通過此舉被執行的2024-1美元期限b貸款應構成信貸協議下的新期限貸款類別，“2024-1美元期限b貸款”，（ii）此類行政的2024-1歐元期限b貸款由同樣構成。信貸協議下的新期限貸款類別，稱為“2024-1歐元期限b貸款”，連同2024-1美元期限b貸款，“2024-1期限b貸款”），在其中，應具備以下條款和條件:

（i）適用利率（i）2024-1美元期限b貸款的適用利率應為（A）基準貸款的每年2.25%，（B）RFR貸款的每年2.25%， （C）基本利率貸款為每年1.25%，（ii）2024-1歐元期限b貸款為每年2.75%的基準貸款；

（ii）地板（i）適用於2024-1美元期限b貸款的地板應為每年0.50%，（ii）適用於歐元期限b貸款，應為每年0.00％;

（iii）已調整的期限SOFR利率定義的條款（b）和已調整的每日簡單RFR定義的條款（b）（ii）應各自視為0％，涉及2024年1月31日已轉化為設定利率標準的美元期限b貸款;

（iv）關於2024-1期限b貸款的到期日應是以下最早的日期：（i）簽約日七週年紀念日，（ii）2024-1期限b承諾在信貸協議第2.06(a)條規定的終止日之前發生，提前與2024年1月31日或（iii）2024-1期限b貸款根據信貸協議第8.02條宣佈到期;

（v）根據本節1.01和信貸協議的適用條款和條件，其金額超過2024-1期限b貸款金額的借貸，無法再次借貸，可作為適用於信貸協議下的期限貸款的利率，RFR貸款或基準利率貸款進行轉換，並/或繼續，具體情況由信貸協議適用條款和條件確定;

（vi）借想在每個貸款方案的最後一個工商業日還款按年償還2024-1期限貸款的未償本金數，這些還款將按以下方式進行支付;

我們的董事會認為，我們的薪酬政策和實踐是合理的，並適當地將我們的員工利益與股東的利益相一致。董事會認為，對於我們的高管和其他員工的激勵性薪酬與收益掛鈎的事實鼓勵採取有利於公司短期和長期盈利的行動。此外，薪酬委員會審查有關我們的薪酬政策和實踐的變化，以確保此類政策和實踐不會鼓勵我們的高管和其他員工採取可能導致公司出現重大不利影響的行動。

該過程還會將基於貸款的優先順序按照信貸協議第2.05和2.06條列出的方式，或者根據信貸協議第2.14條的規定增加2024 -1期限b貸款 的金額（這樣，作為第四修正生效日的2024-1年期限b貸款的時間表所設置的方式，計算方式相同（並基於相同的基礎），其計算方式如下：

然而，在按揭還款的每個本金還款期的預定日期不是工作日的情況下，該本金還款期將在下一個工作日償還；而且2024-1長期b貸款的期末本金還款期應在2024-1年期b貸款的到期日償還，並且無論如何都應該還清該日期時所有未償還的2024-1年期b貸款的本金總額。

（vii）如果與任何再定價事件有關或導致任何再定價事件，借款人在第四修正生效日後6個月內根據信貸協議第2.05(a)款支付任何2024-1年期b貸款的自願提前償還、根據信貸協議第2.05(b)(iii)款償還任何2024-1長期b貸款或效力於任何2024-1年期b貸款的任何修訂，適用的借款人應按比例向適用的期限貸款人支付（x）針對第（A）和（B）款，等於提前償還的這些2024-1年期b貸款本金金額的1.00%的預付款，以及（y）針對第（C）款，等於不同意這種修訂的適用期限貸款人持有的受影響的2024-1長期b貸款本金金額的1.00%的預付款。

（viii）借款人應使用2024-1年期b貸款的收益來再融資2024-1再定價期b貸款和支付與此相關的任何費用、佣金和開支；而且如果上述用途得到滿足後還有餘額，應用於借款人和其受限制的子公司的營業資金和一般企業用途。

4

（ix）除非此處另有明文規定，（x）2024-1美元b貸款的條款將與現有的2023-1美元b貸款相同，並且（y）2024-1歐元b貸款的條款將與現有的最初歐元b貸款相同，並且在每種情況下，應受到信貸協議和適用於現有2023-1美元b貸款或現有初始歐元b貸款的其他借款文件的規定約束（包括關於到期、擔保人、抵押品（和級別）和支付順序的任何規定）。

（x）信貸協議或其他借款文件中對“指定再融資債務”、“初始b期限貸款”、“初始期限融資”、“初始期限貸款”、“b期限貸款設施”、“期限b貸款轉讓”或“期限貸款轉讓”的任何提及均應被視為包括所有2024-1美元b貸款和2024-1歐元b貸款，而所有其他條款都將具有相應的含義。必要時修改每次信貸協議或其他借款文件中對“初始b期限承諾”、“初始期限承諾”和“期限b貸款轉讓”的提及均應被視為包括2024-1年期b參與貸款人在其各自的2024-1年期b承諾下對母公司借款人的承諾，而所有其它相關條款都應具有相應的含義。必要時修改每次提及“貸款人”或“期限貸款人”，均應被視為包括每個2024-1年期b參與貸款人，而所有其他條款均具有相應的含義。必要時修改.

（b）第四次修正協議生效日發生後，所有當前未償還的2024-1再定價期b貸款應當進行全額再融資，具體如下：

（i）對於每個2024-1年期b轉換貸款人，（A）該轉換貸款人當前未償還的現有2023-1美元b貸款的本金金額（或在包銷2024-1美元b貸款時承銷方在其單獨決定的情況下分配給該2024-1年期b轉換貸款人的較少數量）應該被認為已被轉換成在信貸協議下等額的2024-1美元b貸款（總稱“轉換後的2024-1美元b貸款”）；（B）該轉換貸款人當前未償還的現有初始歐元b貸款的本金金額（或在包銷2024-1歐元b貸款時承銷方在其單獨決定的情況下分配給該2024-1年期b轉換貸款人的較少數量）應該被認為已被轉換成在信貸協議下等額的2024-1歐元b貸款（總稱“轉換後的2024-1歐元b貸款”），而這兩者一起被稱為“轉換後的2024-1年期b貸款”。

（ii）每個2024-1美元b貸款資金貸款人和2024-1歐元b貸款資金貸款人，各自同意於第四次修正協議生效日向母公司借款人進行新的期限貸款支用（總稱“新的2024-1年期b貸款”，與轉換後的2024-1年期b貸款一起被稱為“2024-1年期B貸款”，並分別作為“2024-1美元b貸款”或“2024-1歐元b貸款”），在第四次修正協議生效日時支付美元或歐元的本金金額，不超過附表A所列出的每個2024-1美元b貸款資金貸款人或2024-1歐元b貸款資金貸款人的金額（對於任何2024-1美元b資金貸款人，其“2024-1美元b銀行承諾”，對於任何2024-1歐元b資金貸款人，其“2024-1歐元b貸款承諾”，與2024-1美元b承諾相結合，總稱“2024-1年期b承諾”）。

5

（iii）非2024-1年期b轉換貸款人的所有現有期限b貸款的未償還本金金額都將以現金全額償還。

（iv）如果某個2024-1年期b轉換貸款人被分配的2024-1再定價期b貸款本金金額少於該貸款人的全額未償還的2024-1再定價期b貸款的本金金額，那麼該貸款人的2024-1再定價期b貸款將以現金的形式償還，金額等於該貸款人的2024-1再定價期b貸款的未償還本金金額與分配給該貸款人的2024-1年期b貸款本金金額之間的差額。

（v）第四次修正協議生效後，但不遲於第四次修正協議生效日後的45天（如Engagement Party在其承銷過程中的相關角色中不時決定），已簽訂2024-1歐元b參與通知並已在其中選擇“現金結算選項”的每個2024-1歐元b參與貸款人應根據Engagement Party在其相關角色中的決定，以不超過其現有初始歐元b貸款的未償還本金金額（或在包銷是承銷方單獨決定分配給該2024-1歐元b參與貸款人的較少數量，視情況而定），通過轉讓和承受方式從2024-1歐元b資金貸款人處購買2024-1歐元b貸款。

（vi）2024-1年期b轉換貸款人通過以能夠合理確定的方式和支持性文件進行簿記轉讓的方式來進行2024-1年期b轉換前的未償還的2024-1再定價期b貸款轉換後的2024-1年期b貸款。

根據第1.01(b)(i)節，關於2024-1期b貸款的更換，(i)在第四次修訂協議生效之日，應就此類2024-1美元期b貸款或2024-1歐元期b貸款啟動初始利息期，該利息期將於適用於2024-1美元期b貸款或2024-1歐元期b貸款的利息期屆滿時結束，這些貸款作為在第四次修訂協議生效之日出資對2024-1美元期b貸款或2024-1歐元期b貸款（適用於多個這類利率期，分配方法由代理機構在與母公司借款人協商後確定）進行識別。 (ii)對於信貸協議中的All-In Yield定義，將視這些2024-1期b貸款為已發行的2024-1美元期b貸款或2024-1歐元期b貸款，且適用於相同的初期費用和/或原始發行折扣（如有的話）。

(d)根據信貸協議第2.18節，自第四次修訂協議生效當日起，在此處所載的條款和條件的約束下，包括但不限於本章第三條，每家2024-1期b參與貸款人特此同意根據本協議的規定提供2024-1期b貸款。理解並同意所有2023-1期b貸款在第四次修訂協議生效日出資或交換後，都將視為任何信貸協議目的中的“期貸款”和“期b貸款”。第四次修訂協議生效日2024-1美元期b承諾總額為2,649,518,987.34美元，2024-1歐元期b承諾總額為8億歐元。

6

(e) 於第四次修訂協議生效當日借入2024-1期b貸款，母公司借款人應將借款所得用於全額再融資2024-1期b重新定價貸款。

(f) 無論現有信貸協議或信貸協議中的任何條款如何規定，本第1.01節的規定仍然適用。

第1.02節某些協議和同意事項。

(a) 通過簽署2024-1美元期b參與通知書或2024-1歐元期b參與通知書，適用的貸方就同意根據本修訂案或與代理機構和母公司借款人就反映本修訂案的規定和相關交易達成的一致意見的其他貸款文件修改現有信貸協議的條款和其他貸款文件。此外，符合本修訂案的條款和交易，包括符合本修訂案所規定的它的2024-1期b重新定價貸款交換為2024-1期b貸款。

(b) 本處的每家2024-1期b參與貸款人：(i)同意，如果未成為貸方，將成為信貸協議的一方，(ii)確認已收到相關的現有信貸協議和其他貸款文件副本，包括相關文件中提到過的財務報表和這些文件和信息， (iii)同意，在不依賴於代理機構或其他貸方的情況下，以自己認為適當的文件和信息為基礎，自行獨立決定在信貸協議下采取或不採取行動， (iv)委任和授權代理和抵押代理代表其採取行動，依照信貸協議和其他貸款文件的規定行使不屬於該資方的應屬責任，並依照該協議規定授權代理和抵押代理最少要執行該行動。根據信貸協議的規定，它承擔的義務全部履行完畢。(c)每一個2024-1期b參與貸款人同意，放棄依據現有信貸協議第3.06節所規定對屬於第四次修訂協議生效日按照本協議進行部分償還或交換的其任何2024-1期b重新定價期貸款的彌補損失或與之相關的費用的任何權利。

(d)第四次修訂協議生效日後，所有證明2024-1期b重新定價期貸款的票據（如果有）應視為取消，任何貸方都可以要求其根據信貸協議第2.11(a)節發行的2024-1期b貸款進行證明。

(e)本修訂案將視為（x）涉及現有信貸協議第2.18條中載有的2024-1期b承諾的任何請求或通知和（y）依據現有信貸協議第2.05條所規定關於2024-1期b重新定價貸款的提前償還的通知；母公司借款人特此授權並指示代理機構將本修訂案的副本遞交給貸款人。

(f)代理機構和每個2024-1期b參與貸款人特此放棄根據信貸協議第2.02(a)條規定要求在第四次修訂協議有效日期之前不少於三個工作日提供承諾貸款通知的要求；但是，為了避免疑義，母公司借款人應根據第3.02條規定在第四次修訂協議生效日之前或之當天提供該承諾貸款通知。

第2.01節，第四次修訂協議生效之日：

7

第二條

修改。本章程可以通過以下方式進行修改：（i）由發行和未償還的股票中獲得投票權的多數人在每年的股東大會上（或者在其提供的章程或章程的變更或撤銷提案包含在這樣的特別會議的通知中時，在其特別會議上）以肯定的投票結果進行修改或撤銷，或者（ii）由董事會的多數人在董事會的常規或特別會議上以肯定的投票結果進行修改。

信貸協議第1.01節中的"Repricing Event"定義將通過將其中對2023-1美元期b貸款的引用替換為"2024-1期b貸款"的引用來進行修訂。

（a）

信貸協議第2.05(a)(iii)將通過將其中的“第二次修訂協議生效日期6個月後”引用替換為“第四次修訂協議生效日期6個月後”，將其中的對“2023-1美元期B貸款”的引用替換為對“2024-1美元期b貸款”的引用，將其中的對“初始歐元期b貸款”的引用替換為對“2024-1歐元期b貸款”的引用來進行修訂；

（b）

信貸協議第3.08(c)將通過將其中的“第二次修訂協議生效日期6個月後”引用替換為“第四次修訂協議生效日期6個月後”，將其中的對“2023-1美元期b貸款”的引用替換為對“2024-1美元期b貸款”的引用，將其中的對“初始歐元期b貸款”的引用替換為對“2024-1歐元期b貸款”的引用來進行修訂；

（c）

2024-1美元期b貸款和2024-1歐元期b貸款應視為納入信貸協議，每種貸款分別作為信貸協議的一個新的期貸款類別，遵循本修訂案第1.01節和第1.02節（包括但不限於第1.01節（"所有板塊"），第2.01節（"業務"），第2.02節等）規定條款和條件。

(d)

此外，2024-1美元期b貸款和2024-1歐元期b貸款將被視為納入信貸協議中。必要時修改作為信貸協議下的一類期貸款，它們符合本修訂案第1.01節（包括但不限於第1.01節（"所有板塊"）和第1.02節等）規定的條款和條件。定義作為信貸協議下的一類期貸款，它們符合本修訂案第2.01節的規定。貸款，應視為納入信貸協議中的新類別的一個新的期貸款，符合本修訂案規定的條款和條件。貸款的借入、轉換和續作），2.05（預付款項），2.07（償還貸款），2.14 （增量設施），2.22（展期貸款和循環信貸承諾），3.08（根據信貸協議在某些情況下更換借款人第5.07節使用所得款項信貸協議）;和

(e)

每個2024-1鉛承銷商應構成信貸協議下的額外“承銷商”，並在此質量下享有相應的利益。

第2.02節 為了進一步推進，現有信貸協議的2.01附表（承諾和同等份額）特此修改，以反映本附件所列2024-1 Term b Participating Lenders的2024-1 Term b Commitments。

第III章 公司聲明與保證 除了公司在與本協議相關的公司披露清單中列明的事項外（“公司的披露清單”），公司向BLAC做出了以下聲明和保證:

前提條件

本修訂案的有效性及每個2024-1 Term b Participating Lender在本修訂案項下的承諾和義務應受以下各項條件的滿足或豁免（由行政代理人）(滿足或豁免此條件的日期在此稱為“第四次修訂生效日期”):

第3.01節 執行。 行政代理人應收到本修訂案的一份副本(在2024-1期b參與者的情況下，可以以2024-1美元期b參與通知或2024-1歐元期b參與通知的形式提供，視情況而定)及其他相關文件，由父借方、每個其他貸款方、每個2024-1 Term b Participating Lender和行政代理人的正式授權人士簽字並交付

8

第3.02節 承諾貸款通知。 行政代理人應按照信貸協議第2.02(a)條款收到承諾貸款通知。

第3.03節 公司文件。 行政代理人應收到:(a)父公司借方的負責人證明，於第四次修改生效日期出具，證明:(i)自成立以來，父公司的組織文件未經過修改，或者(B)附有父公司每個組織文件的真實、完整複印件，由該公司組織所在國家的國務卿（如適用）於近期日期證明，(ii)附有采用該修改、或者附有父公司與本修訂案項有關的其他任何文件，有關股東會已獲權授權進行簽署、交付和履行；該等決議未經修改、撤銷或修訂，保持完全有效，(iii)無論是(對於此修改或與之有關的其他文件的各個執行的官員的任職資格和樣本簽名 備註：原樣本簽名的執行官員沒有人員變動，或是（B）以前在關閉日期簽署任職資格樣本簽名的執行官員沒有人員變動。; 以及(b)父公司借方好的存在證明，附有最近一個記錄日期內（如有）該州州務卿的有關此種法律文件證明。

第3.04節成本和費用。 (a) 父公司借方應當在2024-1 Term b貸款的借入期間，及時向行政代理人支付2024-1 Repriced Term b貸款在第四次修訂生效日期之前應計未付的利息，並且 (b) 所有費用、費用和支出(包括法律費用和支出)以及應當按照規定由工作人員、參與方和2024-1 Term b Participating Lenders支付的其他津貼，無論是因為2016 Engagement Letter還是因為2024-1 Term b Participating Lenders的發生，只要在第四次修訂生效日期之前的至少三(3)個工作日向其發行賬單，都應該已經被支付了，或者與2024-1 Term b貸款的借入構成實質性同時支付(這些金額可以用2024-1 Term b貸款的款項來抵消)。

管理代理應當收到證書，由父公司的負責官員合法簽署，證明在第四次修訂生效日期的主題中，按照IV條所述的陳述和保證在所有實際情況下準確無誤（如果任何陳述或保證已由實質性資產限定，則在所有方面都要準確無誤），除非此類陳述和保證特別指向較早日期，在這種情況下，它們按較早日期在所有實質方面是真實和正確的。

管理代理和每個2024-1期B參與貸款人（如果父公司同意至少提前十個工作日的第四次修訂生效日期（或經父公司同意的較短時間）請求至少提前兩個工作日）應在第四次修訂生效日期前至少提前兩個營業日收到有關適用的“瞭解客户”和反洗錢規則和法規所要求的父公司及其他貸款方的所有文件和其他信息，包括與父公司有關的受益所有權的認證，該認證根據31 CFR第1010.230條要求對父公司進行認證，以便父公司符合其所屬集團。

Kapil Dhingra，M.B.B.S。自2024年4月以來擔任我們董事會成員。自2008年以來，Dhingra博士擔任KAPital Consulting, LLC的管理成員，這是他在2008年創辦的一家醫療保健諮詢公司。Dhingra博士還目前擔任LAVA Therapeutics B.V.、Black Diamond Therapeutics, Inc、Median Technologies Inc.和Replimune Group, Inc.的董事會成員。Dhingra博士曾經擔任Autolus Therapeutics plc、Five Prime Therapeutics Inc.、Micromet, Inc.、Advanced Accelerator Applications S.A.和YM Biosciences Inc.的董事會成員，在擔任這些公司的董事期間，這些公司均為公開交易的衞生保健公司。我們認為Dhingra博士因其在數家制藥公司擔任高管職位以及他在多個治療領域的製藥臨牀研究、以及擔任許多上市生命科學公司的董事會成員的經驗而有資格擔任我們的董事會成員。

儘管此項協議中有任何相反之處，但為了確定符合第III條規定的條件，已簽署本協議的每個2024-1美元期限b參與貸款人（在2024-1美元期限b參與通知或適用的情況下可以簽署2024-1歐元期限b參與通知的形式）都將視為已同意、批准或接受或滿意地完成了每個文件或其他事項，除非管理代理在擬議的第四次修訂生效日期之前收到來自此類2024-1期B參與貸款人的通知，具體指出其反對此項文件或事項。

第IV章

陳述和保證

為了促使本修改案的其他各方進入此協議，並促使每個2024-1期B參與貸款人根據本條款發放貸款並提供承諾，每個貸款方在第四次修訂生效日期如下聲明和保證給管理代理、抵押品代理和每個貸款人（包括每個2024-1期B參與貸款人）的具體承諾：

第4.01節存續、資格和權力。每個貸款方（在條款（c）的情況下，受法律保留和貸款協議第5.03節的限制）（a）是按其組織或組織法的寄存地的法律，在其寄存地所在的相關管轄區中合法存在並處於良好地位的人員；（b）具有所有載體的基本功率和權限，並能夠（i）擁有或租賃其資產，並按照目前的方式進行業務、（ii）執行、交付並履行其在修正案中的義務；（c）得到了批准並被授權在其擁有、租賃或經營財產的每個管轄區內開展業務並保持良好地位（在適用於此類實體的任何管轄區的情況下）；（d）具有經營其目前業務所需的所有必要政府許可證、授權、同意和批准；但是，在每種情況下，所涉及的是條款（a）（除了與借款人有關的部分）（b）（i）（在除了借款人的情況下）（ b ）（ii）（除了與借款人有關的部分）（c）和（d）除非在任何方面都不會合理地預期因此而產生單獨或整體的實質不利影響。

第4.02節的正當授權；沒有衝突。每個貸款方的執行、交付和履行本修改案以及完成預期交易（a）已得到所有必要的公司或其他組織行動的正當授權；（b）不違反任何該人員的組織文件的條款；（c）不與該人員是當事人的任何合同義務（除了允許的抵押）的條款相牴觸或引起任何違約或抵抗，也不會違反任何政府或任何仲裁機構的法院、禁令、命令或仲裁判決，這些文件是此類人員或其財產所負責的，（d）不違反任何法律；除非在每種情況下，此類侵犯不會合理地預期單獨或整體對其產生實質不利的影響。

第4.03條的正當執行；有約束力。每個貸款方（在法律保留和貸款協議第5.03條的限制範圍內）已在本修改案上籤署並交付。除法律保留外，本修改案構成該貸款方的合法、有效和具有約束力的義務，並且可以根據其條款對該貸款方執行。

PROPOSAL NO. 2

第4.04節償付能力。在本修改案和貸款協議的交易生效後，父公司及其子公司，依法保持償付能力。

第4.05節的陳述和保證。每個貸款方在現有信貸協議的第五條和每個其他貸款文件中所做的陳述和保證，在物質方面均為真實和正確的（如果任何此類聲明或保證已由實質性資產限定，則在所有方面均為真實和正確的），除非此類聲明和保證具體涉及較早日期，在此種情況下，它們被視為按較早日期在所有實質方面是真實和正確的，而現有信貸協議的第505條(a)和(b)節中所載的陳述和保證被視為指向在第四次修訂生效日期之前根據現有信貸協議第6.01(a)和(b)節提供的最新財務報表。

第4.06節沒有違約或違約事件。沒有任何違約或違約事件發生並持續存在。

第五篇

雜項

第5.01節執行本修改案。本修改案已被執行並將被解釋為現有信貸協議的修改，正如現有信貸協議所規定，本修改案構成對其全部的修改和貸款文件的一部分。貸款方和其他各方在此承認，根據現有信貸協議第10.07節的規定，本修改案應構成“再融資修改案”和“貸款文件”。

第5.02節沒有豁免；對貸款文檔的影響。本修改案是對現有信貸協議的責任進行修改，但不予淘汰，除非根據本修改案的條款進行特定修改，否則現有信貸協議的條款和條件仍然完全有效。這裏無論如何都不會限制管理代理和擔保方在現有信貸協議和貸款文件下的權利和救濟措施。除非適用或本修改案中另有規定，管理代理和簽署本合同的貸款方的履行、交付和履行本修改案不構成對貸款文件項下現有任何不履行或違約事件的豁免、寬限或其他遷就。

第5.03節副本。本修改案可以由許多副本和不同方簽署的幾份各自簽署，每份副本在簽署時都應被視為原件，所有這些副本合在一起構成一個協議。簽名頁面可以從多個單獨的副本分離，並附加到單個副本上。通過傳真或電子傳輸（包括PDF）交付此修改案的簽名頁效力等同於手動執行本修改案號的交付。本修改案中的“執行”、“簽署”、“簽名”和類似字眼的單詞被認為包括電子簽名或電子記錄，每種電子簽名或電子記錄都具有與手動執行簽名或使用基於紙張的記錄保管系統的法律效力、有效性或可執行性相同的法律效力和有效性，按照任何適用的法律，包括全球和國家商務法中的聯邦電子簽名、紐約州電子簽名和記錄法或基於統一電子交易法的任何其他類似的州法。

11

第5.04節整個協議。承貸信函、本修改案和其他貸款文件包含了各方的整個協議，並取代了所有有關與任何借貸方、管理代理、貸款人或其各自的附屬公司有關主題的之前協議。在本修改案根據本修改案第III條規定生效後，本修改案應對各方具有約束力，根據現有信貸協議第10.07節的規定，應對各方的繼承人和受讓人具有約束力。

第5.05節治理法；撤銷 陪審團裁決。本修訂和各方的權利和義務應受紐約州法律的管轄並按照其進行解釋。現有信貸協議的第10.15(b)、10.15(c)和10.16節 在此一併引用。照章辦理。

第5.06節可分性。本修訂的任何條款被任何司法管轄區認為非法、無效或不可強制執行，不影響任何未被認為非法、無效或不可強制執行的該條款的任何部分或本修訂的任何其他條款或該條款在任何其他 司法管轄區的任何部分。

第5.07節標題。這裏的分節標題僅供參考方便，不影響本修訂的解釋。

第5.08節再次確認義務。每個貸款方在本次貸款文件中的條款和限制下已經承擔或保證了擔保債務，包括但不限於關於2024-1期b貸款的所有債務（統稱“債務”），其所有債務在本修訂生效後將繼續保持全部效力和連續性，承認並同意本修訂不構成此類債務的新借或終止，已經在其部分抵押物上創設了留置權和安全利益以擔保其在此項下的義務。每個貸款方在此確認已經審查了本修訂的條款和規定，並同意本修訂。每個貸款方在此確認，其作為當事方或受其約束的每份貸款文件和所有被抵押的抵押物將繼續保證或擔保，根據貸款文件的規定儘可能完全地保證和履行債務，包括,但不限於現在或今後每個貸款方的共同和幾倍的義務應向適用的債務支付和履行的所有這類債務。

[此頁其餘部分故意留空。]

12

茲證明，各方已通過其各自授權的代表，於上述日期正式簽署並提交了本修訂。

第四份貸款協議修訂（MKS）簽名頁

第四份修正協議（MKS）簽名頁

第四份修正協議（MKS）簽名頁

附件A

附表1.01A

承諾和比例份額

2024-1期B參與貸款人：

2024-1美元期B 參與貸款人		2024-1美元期B 承諾		2024-1美元期B貸款 Facility Pro Rata Share的份額
日本Disco公司（以下簡稱“公司”）的普通股的代表股份。		$2,649,518,987.34減去虛擬融資成本後，該指數追蹤QQQ基金的表現，分配（如果有）按名義重新投資。交換成2024-1美元期限b貸款的現有2023-1美元期限b貸款總本金數目的2024-1美元期限b轉換放款人佔比		100% 減去虛擬融資成本後，該指數追蹤QQQ基金的表現，分配（如果有）按名義重新投資。表示由2024-1美元期限b轉換放款人交換的現有2023-1美元期限b貸款總本金數目除以2024-1美元期限b貸款在第四修正條款生效日提供給母公司借款人的總本金數目
總計:		$2,649,518,987.34		100%

2024-1歐元期限b 參與放款人		2024-1歐元期限b承諾		2024-1歐元期限b貸款 Facility Pro Rata Share的份額
日本Disco公司（以下簡稱“公司”）的普通股的代表股份。		€800,000,000.00減去虛擬融資成本後，該指數追蹤QQQ基金的表現，分配（如果有）按名義重新投資。交換成2024-1歐元期限b貸款的現有初始歐元期限b貸款總本金數目的2024-1歐元期限b轉換放款人佔比		100% 減去虛擬融資成本後，該指數追蹤QQQ基金的表現，分配（如果有）按名義重新投資。表示由2024-1歐元期限b轉換放款人交換的現有初始歐元期限b貸款總本金數目除以2024-1歐元期限b貸款在第四修正條款生效日提供給母公司借款人的總本金數目
總計:		€800,000,000.00		100%

附件B

2024-1美元期限b參與通知

本2024-1美元期限b參與通知（本“2024-1美元期限b參與通知”）是指在以下文件中或視為是以下文件中的一個簽署頁：2022年8月17日簽訂的（經修訂、重訂、修訂和重訂、補充和以前不時修改的） 《信貸協議》（即“現有信貸協議”），以及依據它更新、修訂、修訂和重訂、補充和以前修改的這份文件，即“信貸協議”，是在總部母公司（“母公司借款人”）MKS INSTRUMENTS，INC.，一家馬薩諸塞州公司，JPMORGAN CHASE銀行有限公司（“JPM”），作為管理代理人、抵押代理人和L/C發行人，以及任何時候參與其中的各方銀行之間簽訂的。本2024-1美元期限b參與通知中使用但未在本通知中定義的大寫字母縮寫，具有在修訂條款或信貸協議中所賦予的含義。

簽署此2024-1美元期限b參與通知書，簽署人機構同意修訂條款和修訂後的現有信貸協議，並同意成為2024-1美元期限b參與放款人。此外，請告知您的JPm銷售員有關您的選擇。在沒有通知其銷售人員的情況下，放款人的選擇可能會被JPM公司酌情作廢。

機構名稱:

簽署為2024-1美元期限b參與放款人：
		通過：
				姓名：
				標題：
任何機構需要第二個簽名行：
		通過：
				姓名：
				標題：

上述貸方選擇同意修改並繼續成為2024-1美元期限b參與貸方，並在修改生效後執行。選擇此選項，上述貸方特此選擇（按無現金方式）交換其所有未償還的現有2023-1美元期限b貸款本金相等的2024-1美元期限b貸款，並確認同意訂約方可能自行決定（按無現金方式）交換少於貸方現有2023-1美元一期B貸款未償還本金總額的貸款，這種情況下，該貸方現有2023-1美元一期B貸款未償還本金總額與其分配額之間的差額將在第四次修改生效日預付。

附件C

2024-1歐元期限b參與通知書

此2024-1歐元期限b參與通知書（本“2024-1歐元期限b參與通知書”）是指針對2022年8月17日簽訂的某種信用協議的第四次修訂（修改、重籤、補充或在修改生效之前的任何其他方式進行修改，現有信貸協議即之前（即修改生效之前）修訂、重籤、修改、重籤、補充或以任何其他方式進行修改的現有信貸協議以及經修訂的信貸協議，合稱為“信貸協議”），其由馬薩諸塞州的股份有限公司MKS INSTRUMENTS，INC.作為母公司借款人（“母公司借款人”），JPMORGAN CHASE銀行（JPM）分別作為管理代理、抵押代理和L / C發行人的身份以及各方當事人從時間到時間，其中包括Lender / Lenders。本2024-1歐元期限b參與通知書中使用但未定義的大寫字母詞語在修改或信貸協議中具有相應大寫字母詞語的含義。

通過簽署本2024-1歐元期限b參與通知書，簽署人機構同意修改和修訂後的現有信貸協議並同意成為2024-1歐元期限b參與貸方。此外，請通知您的JPm銷售人員您的選擇。未告知其銷售人員的貸方可能會被JPM自行決定使其選舉無效。

機構名稱：		執行為2024-1歐元期限b參與貸方的機構名稱：

為任何需要第二個簽名行的機構：
		通過：
				姓名：
				標題：
選項A ☐ -同意修改並繼續歐元期限貸款（無現金滾動）：上述貸方同意修改並選擇繼續作為2024-1歐元期限b參與貸方，在生效修改後繼續在信貸協議下行使其歐元期限貸款的權利。選擇此選項，上述貸方特此選擇（按無現金方式）交換其所有未償還的現有初始歐元期限b貸款本金相等的2024-1歐元期限b貸款，並確認訂約方可能自行決定（按無現金方式）將貸方現有的初始歐元期限b貸款未償還本金總額少於100%的額度分配給該貸方，這種情況下，該貸方現有的初始歐元期限b貸款未償還本金總額與該貸方分配金額之間的差額將在第四次修改生效日預付。
		通過：
				姓名：
				標題：

選項b ☐ - 同意現金結算的修改（無現金滾動）：上述貸方同意修改，並選擇在第四次修改生效日將其所有未償還的初始歐元期限b貸款的本金100%進行償還或購買，並在被指定的時限內（但最遲為第四次修改生效日的45天之前）購買（通過轉讓和假設），或導致其一個或多個授權基金購買（通過轉讓和假設）一個等額的2024-1歐元期限b貸款。選擇此選項，上述貸方確認並同意訂約方可能自行決定將少於該貸方現有的初始歐元期限b貸款未償還本金總額的2024-1歐元期限b貸款主要分配給該貸方。

MKS Instruments完成再定價並進行了1.1億美元的自願性預付款，用於其保護期限b貸款