附件21.1

超淨控股公司

附屬公司名單

Ultra Clean Technology Systems and Service，Inc.(加州公司)

超淨國際控股公司(開曼羣島的一家公司)

超淨微電子設備(上海)有限公司(中國公司)

超淨太平洋控股有限公司(新加坡公司)

超淨技術(馬來西亞)SDN。巴德.(一家馬來西亞公司)

遠東國際控股有限公司(香港公司)

超淨亞太私人有限公司(一家新加坡公司)

美國集成技術有限責任公司(特拉華州一家有限責任公司)

集成流系統有限責任公司(一家加州有限責任公司)

UCT熱解決方案公司(特拉華州一家公司)

Dash收購子公司LLC(特拉華州一家有限責任公司)

UCT流體輸送解決方案公司s.r.o(捷克公司)

量子全球技術有限責任公司(特拉華州一家有限責任公司)

量子清潔技術(S)有限公司有限公司(一家新加坡公司)

QuantumClean Global-以色列有限公司(一家以色列公司)

QuantumClean Global Technologies愛爾蘭有限公司(一家愛爾蘭公司)

量子全球技術控股公司(特拉華州一家有限責任公司)

量子全球技術韓國公司，有限公司（韓國公司）

西諾斯公司，有限公司（韓國公司）

西安西諾斯清潔技術有限公司（中國公司）

西諾斯工程解決方案有限公司，有限公司（韓國公司）

泰南量子科技股份有限公司（臺灣公司）

UCT以色列有限公司（一家以色列公司）

Ham-Let（以色列-加拿大）Ltd.（一家以色列公司）

Ham-Let CPS Ltd.（一家英國公司）

CVS GmbH（一家德國公司）

HTC Ltd.（一家以色列公司）

UCT孵化器有限公司（一家以色列公司）

Astava International B. V.（一家荷蘭公司）

Astava B. V.（一家荷蘭公司）

Ham-Let GmBH（德國公司）

波爾卡斯Sp. Z.o.o.（一家波蘭公司）

Ham-Let Russia LLC（一家俄羅斯公司）

Ham-Let France（一家法國公司）

哈姆萊特美國，Inc.（一家德克薩斯州公司）

Ham-Let Singapore Valves & Fittings Pe Ltd.（一家新加坡公司）

Ham-let（加拿大）Fittings & Valves，Inc.（一家加拿大公司）

Ham-Let Motoyama日本公司株式會社（日本公司）

Ham-Let Benelux B. V.（一家荷蘭公司）

Ham-let上海貿易有限公司有限公司（一家中國公司）

Ham-Let（泰國）Ltd.（一家泰國公司）

霍夫曼儀器供應公司

HIS創新集團愛爾蘭有限公司