附錄 32.1

認證

根據《美國法典》第 18 節第 1350 節，

根據以下規定獲得通過

2002 年《薩班斯-奧克斯利法案》第 906 條

關於截至本文發佈之日向美國證券交易委員會提交的截至2024年3月31日的MKS Instruments, Inc.（“公司”）10-Q表季度報告（“報告”），下列簽署人、公司總裁兼首席執行官約翰·T.C. Lee特此證明，根據根據Sarbanc第906條通過的《美國法典》第18條第1350條據他所知，2002 年的《埃斯-奧克斯利法案》：