附錄 32.1

AMTECH SYSTEMS, INC.及其子公司

根據以下標準進行認證

18《美國法典》第 1350 節,

根據以下規定獲得通過

2002 年《薩班斯-奧克斯利法案》第 906 條

關於截至本文發佈之日向美國證券交易委員會提交的截至2024年3月31日的Amtech Systems, Inc.(以下簡稱 “公司”)10-Q表季度報告(“報告”),我,公司董事會主席兼首席執行官羅伯特·戴格爾,根據根據薩班斯法第906條通過的《美國法典》第18條第1350條進行認證據我所知,2002 年的《奧克斯利法案》:

(1)
該報告完全符合1934年《證券交易法》第13(a)或15(d)條的要求;以及
(2)
報告中包含的信息在所有重大方面公允地反映了公司的財務狀況和經營業績。

 

 

/s/ Robert C. Daigle

 

 

羅伯特·戴格爾

 

 

董事會主席兼首席執行官

 

 

Amtech 系統公司

 

 

 

日期:

 

2024年5月8日

 

上述認證是根據《美國法典》第 18 條第 1350 節提供的。就經修訂的1934年《證券交易法》第18條而言,它不是根據經修訂的1934年《證券交易法》第18條提交的,也不得以提及方式納入公司的任何申報中,無論此類申報中有任何一般的公司註冊語言。