附件32.2

首席財務官的證明

依據《美國法典》第18編第1350條，

根據以下規定通過

2002年薩班斯-奧克斯利法案第906節

本人Mark R.Slicer根據2002年《薩班斯-奧克斯利法案》第906節通過的《美國法典第18編第1350條》，證明Onto Innovation Inc.截至2023年12月30日的Form 10-K年度報告完全符合1934年《證券交易法》第13(A)或15(D)節的要求，Form 10-K年度報告中包含的信息在所有重大事項中均公平地反映了Onto Innovation Inc.的財務狀況和經營結果。

日期：2024年2月26日