附錄 23.1
獨立註冊會計師事務所的同意
我們同意以提及方式納入以下注冊聲明:
(1) | 與 Axcelis Technologies, Inc. 2012年股權激勵計劃有關的註冊聲明(S-8表格,編號333-181750、333-188967、333-196157、333-204544、333-211673、333-218225和333-231634) |
(2) | 與Axcelis Technologies, Inc. 2020年員工股票購買計劃有關的註冊聲明(S-8表格編號333-238770) |
(3) | 與2000年股票計劃和2012年股權激勵計劃有關的註冊聲明(S-8表格編號333-120356),以及 |
(4) | Axcelis Technologies, Inc.關於普通股、優先股、認股權證、債務證券和單位註冊的註冊聲明(表格S-3,編號333-273639)及相關招股説明書; |
我們在2024年2月23日發佈的報告中,內容涉及Axcelis Technologies, Inc.的合併財務報表和附表以及Axcelis Technologies, Inc.截至2023年12月31日止年度的年度報告(10-K表)中包含的對Axcelis Technologies, Inc.財務報告的內部控制的有效性。
//安永會計師事務所
馬薩諸塞州波斯頓
2024年2月23日
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