附件：23.1
獨立註冊會計師事務所的同意
Veeco儀器公司董事會：
我們同意將關於Veeco Instruments Inc.的綜合財務報表和財務報表附表II-估值和合格賬户以及財務報告內部控制的有效性的報告通過引用納入下面列出的2024年2月16日報告的登記報表中。
註冊編號 |
| 表格 |
| 平面圖 |
333-166852 | | S-8 | | 威視儀器公司2010年股票激勵計劃 |
333-194737 | | S-8 | | Veeco Inc.2010年股票激勵計劃、Veeco Inc.2013年激勵股票激勵計劃 |
333-211781 | | S-8 | | Veeco Instruments Inc.修訂並重新修訂了2010年股票激勵計劃、Veeco Instruments Inc.2016員工股票購買計劃 |
333-218256 | | S-8 | | UltraTech，Inc.1993年修訂和重述的股票期權/股票發行計劃2017年5月31日 |
333-231266 | | S-8 | | Veeco Inc.2019年股票激勵計劃；Veeco Instruments Inc.2016年員工股票購買計劃第一修正案 |
333-242450 | | S-3 | | Veeco Instruments Inc.貨架註冊聲明 |
333-256004 | | S-8 | | Veeco Instruments Inc.2016年員工股票購買計劃第二修正案 |
333-265117 | | S-8 | | Veeco Instruments Inc.2019年股票激勵計劃修正案1 |
/s/畢馬威律師事務所
加利福尼亞州聖克拉拉
2024年2月16日