附件:21.1

註冊人的子公司

截至2023年12月31日

子公司

    

本組織的管轄權範圍

    

所有權百分比(A)

美國子公司

UltraTech International Inc.

100%

Veeco亞太有限責任公司

100%

Veeco工藝設備公司

100%

外國子公司

Veeco亞洲私人有限公司LTD.

新加坡

100%

Veeco公司

德國

100%

維科儀器有限公司

英國

100%

威科儀器(上海)有限公司

中國

100%

Veeco日本有限公司

日本

100%

Veeco韓國有限責任公司

韓國

100%

維科馬來西亞有限公司。巴赫德。

馬來西亞

100%

Veeco荷蘭分公司

荷蘭

100%

Veeco SIC CVD系統公司

瑞典

100%

Veeco臺灣公司

臺灣

100%

以色列超技科技有限公司。

以色列

100%


(A)包括直接所有權和間接所有權。