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附錄 32.1

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AXCELIS TECHNOLOGIES

首席執行官的認證

根據《美國法典》第 18 編第 63 章第 1350 節

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就美國法典第18編第63章第1350節（由2002年《薩班斯-奧克斯利法案》第906條實施）而言，下列簽署人的特拉華州公司Axcelis Technologies, Inc. 首席執行官特此證明如下：

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本10-Q表季度報告完全符合1934年《證券交易法》（15 U.S.C. 78m或78o（d））第13（a）或15（d）條的要求，其中包含的信息在所有重大方面公允地反映了公司的財務狀況和經營業績。

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以下籤署人已於 2023 年 11 月 2 日起執行本認證，以昭信守。

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