附錄 5.1

JEFFREY S. CANNON 的看法，ESQ.

2023年11月1日

KLA 公司

一個技術驅動器

加利福尼亞州米爾皮塔斯 95035

回覆：

S-8 表格上的註冊聲明

女士們、先生們：

特拉華州的一家公司 （以下簡稱 “公司”）正在向美國證券交易委員會提交一份S-8表格（以下簡稱 “註冊聲明”）的註冊聲明，目的是根據經修訂的1933年《證券法》（《證券法》），（1）另外註冊418,316股公司普通股，面值為每股0.001美元（普通股），留待公司發行 ys 經修訂和重述的 1997 年員工股票購買計劃（ESPP）以及 (2) 10,654,712 股公司普通股，每股面值0.001美元，預留給根據公司2023年激勵獎勵計劃（ IAP）發行，如註冊聲明中所述。根據ESPP和IAP預留髮行的額外普通股在本文中被稱為股份。

在發表本意見時，我曾擔任公司的助理總法律顧問，作為法律顧問，我審查了我認為發表本意見所必需的文件以及 此類事實和法律問題。在這類檢查中，我假設所有簽名的真實性，以 原件提交給我的所有文件的真實性，並假設作為合格副本或靜電覆印件提交給我的所有文件都與原始文件一致。

基於上述情況， 我認為，當股票根據ESPP和IAP的條款和條件正式發行和交付時，此類股票將有效發行、全額支付且不可評估。

我特此同意將本意見作為註冊聲明的附錄提交。