附錄 32.2

首席財務官認證

根據《美國法典》第 18 節第 1350 節，

根據以下規定獲得通過

2002 年《薩班斯-奧克斯利法案》第 906 條

我，Mark R. Slicer，根據根據2002年《薩班斯-奧克斯利法案》第906條通過的《美國法典》第18節第1350節證明，截至2023年4月1日的Onto Innovation Inc.10-Q表季度報告完全符合1934年《證券交易法》第13（a）或15（d）條的要求，季度報告中包含的信息在10-Q表上，在所有重大方面公允地反映了Onto Innovation Inc的財務狀況和經營業績

日期：2023 年 5 月 4 日