附錄 10.1

CY23 高管激勵計劃

（年度高管獎金）

計劃摘要

本KLA高管激勵計劃（“計劃”）旨在通過為目標業績提供有競爭力的獎金和為出色業績提供潛在的上行空間，激勵高級管理人員實現短期和長期的企業目標。

計劃週期

本計劃的有效期為2023年1月1日至2023年12月31日的日曆年期間（“計劃期”）。符合條件的新員工（例如，根據本計劃首次晉升為符合激勵條件的職位或新員工）必須在 2023 年 10 月 1 日當天或之前處於人力資源系統記錄的符合條件的職位，才有資格參與本計劃期。

符合條件的職位

KLA Corporation（“公司”）的首席執行官（“首席執行官”）以及擔任X2或F2及以上級別職位的公司和指定公司子公司（見本協議附錄A）的員工（與首席執行官合稱 “高管”）有資格參與本計劃。

計劃付款

根據計劃期內的業績，獎金將在2023年12月31日之後的90天內支付。獎金的計算應基於適用計劃期的已付基本工資。如果將季節性獎金視為員工年薪的一部分，則支付的基本工資包括在某些國家支付的基本工資和季節性獎金。已支付的基本工資不包括計劃期內支付的搬遷津貼和報銷、學費報銷、汽車/交通補貼、外籍人員津貼、佣金、長期殘疾補助金或獎金。參與者在付款當天必須是公司的正式在職員工才能獲得報酬。在計劃期內（2023 年 10 月 1 日當天或之前）晉升或聘用到符合條件的職位的員工的薪水將根據人力資源系統中記錄的晉升或聘用生效之日起的已付薪金計算。如果員工的目標獎金在年內發生變化，則獎金將按比例分配。

目標獎勵

目標獎金是按每位計劃參與者的基本工資的百分比確定的。

資金門檻

該計劃的可用資金總額將由業績與閾值水平相比確定，門檻水平由計劃期間的平衡記分卡和營業利潤率（“OM”）*績效衡量。在實現運營績效達到美元后，該計劃將獲得全額資金（相當於所有計劃參與者的總金額，相當於每位計劃參與者在計劃期內目標獎金百分比和已支付基本工資乘積的兩倍）[**]M. 這筆全額資金代表所有計劃參與者的最大總獎勵機會和本計劃的最大總成本。

績效矩陣和可用於獎金支付的資金的確定

如下面的CY23高管獎金資助表所示，可向參與的高管支付的資金水平將基於對企業平衡記分卡和運營管理績效衡量的業績。表中的金額代表適用的資金倍數。可用資金總額將等於計劃期內每位計劃參與者的目標獎金百分比和已支付的基本工資的乘積的美元總額乘以資金倍數。

個人績效和高管獎金支付的確定

每位高管（首席執行官除外）的實際獎金支付金額將基於首席執行官對高管在計劃期內的績效的評估以及高管的獎金實現佔高管獎金目標的百分比的確定。將根據高管各自組織的關鍵平衡記分卡衡量標準和目標，根據該高管領導其組織的有效性，對每位高管的績效進行評估。根據經修訂的1934年《證券交易法》第16條的規定，除首席執行官外，每位擔任公司執行官的計劃參與者的獎金實現百分比和由此產生的獎金支付將由首席執行官推薦並由薪酬和人才委員會審查和批准。首席執行官的獎金實現百分比和由此產生的獎金支付將由公司董事會決定和批准（首席執行官本人迴避）。所有其他計劃參與者的獎金實現百分比和最終獎金支付將由首席執行官審查和批准。

獎金計算

參與者獎金的計算公式為：

參與者在計劃期間支付的基本工資

x 參與者的目標獎勵百分比

x 參與者的獎勵成就百分比

= 參與者的獎金支付

在任何情況下，向參與者支付的獎金都不得超過該參與者目標獎金的兩倍（即參與者在計劃期內支付的基本工資乘以參與者的目標獎金百分比的兩倍）。

一般規定

薪酬委員會（或公司董事會的獨立成員（“獨立董事”）應為計劃管理人。薪酬和人才委員會（或獨立董事）應制定規則、條例、解釋和計算，並應採取其認為適當的其他行動來管理本計劃。本計劃的制定不得賦予任何僱員或其他人任何繼續工作的合法權利，也不得干涉公司解僱任何員工和對待他或她的權利，而不考慮這種待遇可能對他或她作為本計劃參與者產生的影響。

本計劃應由薪酬和人才委員會（或獨立董事）自行解釋、管理和執行。涉及本計劃的任何法律糾紛將受加利福尼亞州法律管轄。薪酬和人才委員會（或獨立董事）可隨時自行決定更改、修改或終止本計劃。

本計劃根據KLA績效獎金計劃通過，規定了2023日曆年度高管年度激勵計劃的條款和條件。

* 本計劃中提及的營業利潤率是指公司對非公認會計準則營業利潤率的計算

附錄 A

指定子公司名單

1.kla-Tencor（新加坡）私人有限公司

2.kla-Tencor Korea Inc.

3.Orbotech Ltd.

4.SPTS 技術有限公司

5.kla-Tencor 國際貿易（上海）有限公司