附件5.1

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CVD設備公司

南科技大道355號

中央伊斯利普，紐約11722

女士們、先生們：

吾等已就本公司根據經修訂的1933年證券法(“證券法”)向美國證券交易委員會(“委員會”)提交的S-3表格註冊聲明(“註冊聲明”)為CVD Equipment Corporation(“本公司”)擔任法律顧問。根據《註冊説明書》，本公司可根據《證券法》第415條的規定，不時延遲或持續地要約及出售：(I)本公司普通股股份，每股面值0.01美元(“普通股”)；(Ii)本公司一個或多個系列的優先股(“優先股”)；(Iii)一個或多個系列的公司債務證券，包括票據、債權證、債券及其他負債證據(“債務證券”)、(Iv)購買普通股或優先股的認股權證(“認股權證”)，及(V)由普通股、債務證券及/或以上述任何組合購買普通股及/或債務證券的認股權證組成的單位(“單位”)，及(Vi)普通股、優先股、認股權證、債務證券、及/或單位(統稱為“證券”，有時個別稱為“證券”)。正在註冊的證券的最高公開發行價為100,000,000美元。這些證券可以單獨發售，也可以作為其他證券單位的一部分，以單獨的系列、金額、價格和招股説明書附錄中列出的條款發售。

在您的許可下，除另有明文規定的情況外，本公司在未進行任何獨立調查或核實的情況下作出本文中的所有假設，並且我們對該等假設或所依賴項目的準確性不發表任何意見。

在提出本意見時，吾等已：(I)調查有關法律問題；(Ii)審閲本公司該等協議、文書、文件及紀錄、公職人員證書及其他文件的正本或經核證、確認或複製的副本；及(Iii)就本意見而言，吾等已從本公司及其他人士的高級管理人員及代表處收到吾等認為必需或適當的資料。

在所有此類調查和審查中，我們已假定所有自然人的法律行為能力、所有簽名的真實性、正本和經認證的文件的真實性以及所有提交給我們的作為符合或複製副本的副本的正本或經認證的文件的符合性。吾等進一步假設，任何已發行及交付的證券及其發行將遵守適用於本公司的所有規定及限制(如有)，不論該等規定及限制是由本公司作為締約一方或受其約束的任何協議或文書或任何對本公司具有司法管轄權的法院、政府或監管機構或其他機構施加的。

CVD設備公司

2023年3月31日

基於上述情況，並在符合本文所述的限制、限制和假設的前提下，我們認為：

1.普通股(包括組成一個單位的任何此類普通股)將在以下情況下正式授權、有效發行、全額支付和免税：(I)董事會(或其正式授權的委員會)已採取一切必要的公司行動，根據公司經修訂的公司註冊證書(“公司註冊證書”)和適用法律批准普通股的發行，該公司行動在公司提供和出售該普通股時始終保持完全有效和有效，不作任何修改或修改；及(Ii)(A)普通股以無證書形式發行並按照DWAC透過存託信託公司的設施交付，或(B)代表普通股的證書應已妥為籤立、副署、登記及妥為交付予其購買者，在每種情況下，代表普通股的證書應已妥為籤立、副署、登記及正式交付予購買者，而不論是根據適用的包銷、購買或類似協議或在根據任何其他證券的條款交換時，或在根據上述條款行使或轉換任何其他已獲正式授權、發行、支付及交付的證券時。

2.在下列情況下，每一系列優先股將得到正式授權、有效發行、全額支付和不可評估：(I)公司董事會(或其正式授權的委員會)已採取一切必要的公司行動，批准發行該系列優先股，並根據公司註冊證書確定其條款和條件，以便不違反任何適用的法律、規則或法規，或導致根據對本公司具有約束力的任何協議或文書違約或違反，並遵守任何對本公司具有管轄權的法院或政府機構施加的任何適用要求或限制，在公司提供和出售該優先股的所有時間內，該公司訴訟應保持完全有效，不得修改或修改；(2)已向紐約州州務卿正式提交公司註冊證書的指定證書，以確定正在發行和交付的一系列優先股的指定、優先和權利；及(Iii)(A)優先股以無證書形式發行並按照DWAC透過存託信託公司的設施交付，或(B)代表該系列優先股的證書應已妥為籤立、副署、登記及妥為出售及交付予有關購買者，在每種情況下，代表該系列優先股的證書應已妥為籤立、會籤、登記及正式出售及交付予購買者，而不論該等證書乃根據適用的包銷、購買或類似協議或在根據任何其他證券的條款交換或轉換時或在根據其條款行使任何其他經正式授權、發行、支付及交付的其他證券時。

3.每一系列債務證券(包括組成一個單位的任何此類債務證券)將構成本公司的有效和具有約束力的義務，可根據其條款對本公司強制執行，條件是：(I)本公司董事會(或其正式授權的委員會)已採取一切必要的公司行動批准該等債務證券的發行，並根據發行債務證券的契約確立其條款和條件，該契約基本上採用作為登記聲明附件4.1提交的契約的形式(“契約”)，並不違反任何適用的法律、規則或法規，或導致根據或違反對本公司具有約束力的任何協議或文書的違約或違約，並遵守任何對本公司具有司法管轄權的法院或政府機構施加的任何適用要求或限制，該等公司訴訟應在本公司發售和出售該系列債務證券的所有時間保持完全有效和有效，不得修訂或修改；(Ii)該契約及該契約的任何必需的補充契約(每份為“補充契約”)，須已由本公司及在與發售債務證券有關的章程副刊中指名的受託人(“受託人”)妥為授權、籤立及交付；。(Iii)受託人根據經修訂的1939年信託契約法令，有資格根據該契約以該身分行事，並已獲正式委任，並已按照證券法及其下公佈的規則及規例，提交表格T-1的受託人資格陳述；。(Iv)該系列的債務證券須以註冊説明書、任何適用的招股章程副刊、契約、任何適用的補充契約及公司訴訟所述的形式發行，並載有該等條款；及(V)該系列債務證券應已按照正式授權、發行、支付及交付的正式授權、發行、付款及交付的契約及任何適用的補充契約，或根據適用的包銷、購買或類似協議，或在根據任何其他證券的條款交換時，或在行使任何其他證券時，按照契約及任何適用的補充契約妥為認證、籤立、出售及交付。

CVD設備公司

2023年3月31日

4.每一系列認股權證(包括組成一個單位的任何認股權證)將構成本公司的有效和具約束力的義務，並可根據其條款對本公司強制執行，條件是：(I)該等認股權證已由本公司妥為授權、籤立及交付；(Ii)本公司董事會(或其正式授權的委員會)應已採取一切必要的公司行動，批准發行該等認股權證，並根據公司註冊證書確立其條款及條件，以避免違反任何適用的法律、規則或規例，或導致任何對本公司具約束力的協議或文書的失責或違反，以及遵守任何對本公司具有司法管轄權的法院或政府機構施加的任何適用要求或限制，而該等行動在本公司發售及出售該等認股權證的任何時間內均保持十足效力及作用，不得修訂或修改；及(Iii)該等認股權證須已按照相關適用認股權證協議的規定妥為籤立及認證或會籤，並已按照適用的包銷、購買或類似協議妥為出售及交付予該等認股權證的購買者，以支付協議代價。

上述意見僅限於適用的(I)美國聯邦法律和(Ii)紐約州法律，包括但不限於在委員會宣佈註冊聲明生效之日(“生效日期”)生效的紐約州商業公司法，對於隨後修訂的該等法律或任何其他法律，或該等修訂或其他法律可能對本文表達的意見產生的任何影響，不發表任何意見。前述意見僅限於本文所述事項，除本文明確陳述的事項外，不含任何暗示或推斷意見。上述意見是自生效日期起給出的，我們沒有義務就生效日期後適用法律的任何變化或任何可能改變我們在生效日期後可能知道的此處表達的意見的事實通知您。我們的意見還受到以下例外、限制和限制：(I)適用的破產、破產、重組、暫停、欺詐性轉讓或與債權人權利和補救有關或影響債權人權利和補救的類似法律的影響；以及(Ii)衡平法一般原則的影響，無論是在法律訴訟中提出的還是在衡平法中提出的(包括可能無法獲得具體履行或強制令救濟)、重要性、合理性、誠信和公平交易的概念，以及法院可就此提起任何訴訟的酌情決定權。

上述意見假定，在交付任何此類擔保時或之前：(I)登記聲明應已被宣佈生效，且該效力不得終止或撤銷；(Ii)與此類擔保有關的任何必要的招股説明書補充材料應已及時提交證監會，任何所需的證物應及時提交證監會修訂《登記聲明》；(Iii)契約(及任何補充契約)已由受託人正式授權、籤立和交付，是受託人的有效和具有約束力的義務；(Iv)根據修訂後的1939年《信託契約法》，該公司已具備正式資格；(V)在該日期之後設立的任何證券的任何條款，或該等證券的發行和交付，或公司遵守該等證券的條款，均不會違反任何適用法律，或會導致違反當時對本公司具有約束力的任何文書或協議的任何條款，或任何對本公司具有管轄權的法院或政府機構施加的任何限制；及(Vi)足夠數量的普通股或優先股(視屬何情況而定)將獲授權並可供發行，其代價將不少於普通股或優先股(視屬何情況而定)的面值。

CVD設備公司

2023年3月31日

吾等的意見僅為本公司的利益而設，未經吾等事先書面同意，任何其他人士或實體不得將本意見用作任何其他目的或被任何其他人士或實體所依賴，惟吾等同意將本意見作為註冊聲明的附件5.1提交，並同意在基本招股章程及各相關招股章程副刊“法律事宜”項下向吾等提交本意見。在給予這一同意時，我們不承認我們是證券法第11條所指的專家，或屬於上述法案第7條所要求其同意的人的類別。