附錄 32.1
根據以下標準進行認證
18《美國法典》第 1350 節，
根據以下規定獲得通過
2002 年《薩班斯-奧克斯利法案》第 906 條
關於截至2022年12月31日的Veeco Instruments Inc.（“公司”）截至2022年12月31日的10-K表年度報告（以下簡稱 “報告”），我，公司首席執行官威廉·米勒博士，根據根據薩班斯-奧克斯利法案第906條通過的《美國法典》第18節第1350節進行認證 2002 年，那個：
| (1) | 該報告完全符合1934年《證券交易法》第13（a）或15（d）條的要求；以及 |
| (2) | 報告中包含的信息在所有重大方面公允地反映了公司的財務狀況和經營業績。 |
/s/威廉 ·J· 米勒，博士 | |
威廉 ·J· 米勒博士 | |
首席執行官兼董事 | |
Veeco Inc. | |
2023年2月22日 | |
第 906 條要求的本書面聲明的簽名原件已提供給 Veeco Instruments Inc.，將由Veeco Instruments Inc.保留，並應要求提供給美國證券交易委員會或其工作人員。