附錄 23.1
獨立註冊會計師事務所的同意
董事會 Veeco Instruments Inc.：
我們同意在下面列出的註冊報表中納入我們2023年2月22日關於合併財務報表和財務報表附表二——Veeco Inc.的估值和合格賬目以及財務報告內部控制的有效性的報告。
註冊號 |
| 表單 |
| 計劃 |
333-166852 | | S-8 | | Veeco Instruments Inc. 2010 年股票 |
333-194737 | | S-8 | | Veeco Instruments Inc. 2010 年股票激勵計劃、Veeco Instruments Inc. 2013 年激勵 |
333-211781 | | S-8 | | Veeco Instruments Inc. 修訂並重申了 2010 年股票激勵計劃，Veeco Instruments Inc. 2016 年員工股票購買計劃 |
333-218256 | | S-8 | | Ultratech, Inc. 1993 年股票期權/股票發行計劃經修訂和重申 2017 年 5 月 31 日 |
333-231266 | | S-8 | | Veeco Instruments Inc. 2019 年股票激勵計劃；Veeco Instruments Inc. 2016 年員工股票購買計劃的第一修正 |
333-242450 | | S-3 | | Veeco 儀器有限公司上架註冊聲明 |
333-256004 | | S-8 | | Veeco Instruments Inc. 2016 年員工股票購買計劃的第二修正案 |
333-265117 | | S-8 | | Veeco Instruments Inc. 2019 年股票激勵計劃第 1 號修正案 |
//畢馬威會計師事務所
加利福尼亞州聖克拉拉
2023年2月22日