附錄 21.1

註冊人的子公司

截至2022年12月31日

子公司

    

組織管轄權

    

所有權百分比 (A)

美國子公司

Ultratech國際有限公司

DE

100%

Veeco APAC 有限責任公司

DE

100%

Veeco工藝設備有限公司

DE

100%

外國子公司

Veeco Asia Pte有限公司

新加坡

100%

Veeco GmbH

德國

100%

Veeco 儀器有限公司

英格蘭

100%

Veeco儀器(上海)有限公司有限公司

中國

100%

Veeco 日本有限公司

日本

100%

韓國Veeco有限責任公司

大韓民國

100%

Veeco 馬來西亞有限公司Bhd。

馬來西亞

100%

Veeco 荷蘭 BV

荷蘭

100%

臺灣威科股份有限公司

臺灣

100%

以色列超科技技術有限公司

以色列

100%


(A)包括直接和間接所有權。