附件32.1

Amtech Systems，Inc.及其子公司

根據以下條件進行認證

《美國法典》第18編第1350條，

根據以下規定通過

2002年薩班斯-奧克斯利法案第906節

關於Amtech Systems，Inc.(“公司”)於本報告日期向美國證券交易委員會提交的截至2022年12月31日的10-Q表格季度報告(下稱“報告”)，本人，公司首席執行官Michael Wang，依照美國法典第18編第1350條，根據2002年《薩班斯-奧克斯利法案》第906條的規定，證明：

(1)
該報告完全符合1934年《證券交易法》第13(A)或15(D)節的要求；以及
(2)
該報告所載資料在各重大方面均公平地反映了本公司的財務狀況及經營結果。

 

通過

 

/s/Michael Wang

 

 

Michael Wang

 

 

首席執行官

 

 

Amtech系統公司

 

 

 

日期：

 

2023年2月8日

 

上述證明是根據《美國法典》第18編第1350條提供的。它不是為了1934年修訂的證券交易法第18條的目的而提交的，也不會通過引用將其納入公司的任何文件中，無論該文件中的任何一般公司語言如何。