附件23.1

獨立註冊會計師事務所的同意

我們特此同意以引用方式將我們2022年8月5日的報告納入KLA公司S-8表格的這份註冊聲明中關於財務報表、財務報表明細表和財務報告內部控制的有效性， 載於KLA Corporation截至2022年6月30日的Form 10-K年度報告。

/s/ 普華永道會計師事務所

加利福尼亞州聖何塞

2023年2月3日