附件5.1

傑弗裏·S·坎農的觀點，Esq.

2023年2月3日

KLA公司

同一個技術驅動力

加利福尼亞州米爾皮塔斯，95035

回覆：

表格S-8上的登記聲明

女士們、先生們：

KLA Corporation是特拉華州的一家公司，現向美國證券交易委員會提交一份S-8表格的註冊聲明(註冊聲明)，目的是根據修訂的1933年證券法(證券法)註冊額外的419,897股公司普通股，每股票面價值0.001美元(普通股)，以根據公司修訂的和重新啟動的1997年員工股票購買計劃(註冊聲明)進行發行。根據ESPP為發行而保留的普通股額外股份在本文中稱為普通股。

我已就本意見的發表擔任本公司的副總法律顧問，並以該等法律顧問的身份審閲我認為為發表本意見所需的文件及 該等事實及法律事宜。在此類審查中，我已假定所有簽名的真實性和所有提交給我的文件的真實性作為原件，並假設所有提交給我的文件作為合格或複印件與原始文件相符。

基於以上所述，本人認為，當該等股份已按照ESPP的條款及條件妥為發行及交付時，該等股份將獲有效發行、繳足股款及免評税。

本人特此同意將本意見書作為註冊説明書的證物。