美國

美國證券交易委員會

華盛頓特區，20549

附表14A

(Rule 14a-101)

附表14A資料

根據第14(A)條作出的委託書

1934年《證券交易法》(修訂第)

由註冊人☑提交

由註冊人☐以外的一方提交

選中相應的框：

☐初步代理聲明

☐機密，僅供委員會使用(規則14a-6(E)(2)允許)

☑最終代理聲明

☐權威附加材料

☐根據規則14a-12徵集材料

支付申請費(勾選適當的方框)：

☑免費。

根據交易法規則14a-6(I)(1)和0-11，根據下表計算的☐費用。

之前與初步材料一起支付的☐費用。

如果按照交易法規則0-11(A)(2)的規定對費用的任何部分進行了抵銷，請選中☐複選框並標識之前已支付抵銷費的申請。通過登記聲明編號或表格或附表以及提交日期識別以前提交的申請。

Amtech Systems，Inc.

南克拉克大道131號

亞利桑那州坦佩85288

關於2023年股東周年大會的通知
將於2023年3月1日舉行

致我們的股東：

亞利桑那州公司Amtech Systems，Inc.2023年年度股東大會將於亞利桑那州時間2023年3月1日(星期三)上午9點在亞利桑那州雷格利維爾西部860 N Riverview，Mesa的喜來登臺面酒店舉行，目的如下：

上述業務事項在本通知所附的委託書中有更全面的描述。本公司目前並無知悉股東周年大會前將有其他業務。

關於提供會議代理材料的重要通知

以Form 10-K格式向股東提交的截至2022年9月30日的財政年度的委託書和年度報告(“2022年年度報告”)也可在www.proxydocs.com/asys上查閲。本網站提供的材料包括本公告、委託書和2022年年度報告。

董事會已將2023年1月13日的營業時間確定為記錄日期(“記錄日期”)，以確定持有本公司普通股的股東有權在股東周年大會或其任何延期或續會上通知並投票。提醒股東，只有當股東親自或由有效代表出席股東周年大會時，他們持有的本公司普通股股份才可在股東周年大會上投票。2022年年度報告的副本，包括我們經審計的財務報表，已於2023年1月30日左右與本通知和委託書一起郵寄給所有登記在冊的股東。

公司管理層誠摯邀請您出席本次年會。請注意隨附的委託書，以討論上述建議以及董事會鼓勵您投票批准該等建議的原因。

坦佩，亞利桑那州

2023年1月20日

Amtech Systems，Inc.

委託書

2023年股東周年大會

目錄

Amtech Systems，Inc.

南克拉克大道131號

亞利桑那州坦佩85288

委託書

亞利桑那州公司Amtech Systems，Inc.的董事會正在徵集委託書，將在2023年3月1日(星期三)亞利桑那州時間上午9點舉行的2023年股東年會及其任何休會或延期(“年會”或“會議”)上使用。本委託書隨附會議通知副本一份。這份委託書和隨附的委託書將郵寄給所有有權在2023年1月30日開始的年度會議上投票的股東。

誰有投票權？

於2023年1月13日(“記錄日期”)收市時登記在冊的股東，可於股東周年大會及任何續會或延期會議上投票。在記錄日期，我們的普通股發行和發行了14,023,534股，面值為0.01美元(“普通股”)。有權在股東周年大會上投票的股東的完整名單，應在股東周年大會召開前至少十天的正常營業時間內，為任何與股東大會相關的目的，在我們位於亞利桑那州坦佩南克拉克大道131號的辦公室公開供任何股東查閲，郵編：85288。

法定人數的構成

於有權投票的記錄日期，持有普通股已發行及已發行股份的大多數投票權的持有人須親自或委派代表出席，方可構成股東周年大會的法定人數。為確定法定人數，出席會議的股份數目包括棄權票和經紀人票。當為受益所有人持有股票的被提名人沒有對特定提案投票，因為該被提名人對該特定項目沒有酌情投票權，並且沒有收到受益所有人的指示時，就會發生經紀人“無投票權”。

如何出席會議

如果你是登記在冊的股東，這意味着你以你的名義持有你的股票，你可以參加會議。如果您以銀行、經紀商或其他記錄持有人(“街道名稱”)的名義持有股票，您需要向您的經紀商或銀行索要他們從我們那裏收到的委託書的副本。您需要攜帶委託書參加年會，年會將於亞利桑那州時間2023年3月1日星期三上午9點在亞利桑那州里弗維尤北部860號瑞格利維爾西部的喜來登梅薩酒店舉行。

如何投票

如果您的股票直接以您的名義註冊，您可以投票：

通過互聯網。如果您收到通知或代理材料的打印副本，請按照通知或代理卡上的説明進行操作。

通過電話。如果您收到了代理材料的打印副本，請按照代理卡上的説明進行操作。

郵寄的。如果您收到代理材料的打印副本，請在隨附的預付郵資的信封中填寫、簽名、註明日期並郵寄您的代理卡。

親自出席年會。如果您選擇親自在會議上投票，您必須攜帶政府頒發的身份證明，其中包括照片(如駕照或護照)以及所附的代理卡或其他關於您截至記錄日期擁有普通股的證明。

1

如果你的股票是以街道名義持有的(由經紀商、銀行或其他代名人代為持有)：

你的經紀人、銀行或其他被提名者應該給你指示如何投票你的股票。您可以按照您的經紀人、銀行或其他被提名人的指示，通過互聯網、電話或郵件進行投票。您也可以親自投票，如果您從您的經紀人那裏獲得了合法的委託書，使您有權在會議上投票您的股票，並且您將您對普通股的所有權的核實帶到了會議上。

除本委託書所述事項外，吾等並不知悉將於股東周年大會上呈交的任何其他事項。然而，如果本委託書中未描述的任何其他事項在股東周年大會上恰當地陳述，委託人將根據他們自己的判斷來決定如何投票表決您的股票。如果年會延期，你的普通股也可以在新的會議日期由代表投票表決，除非你在該時間之前已經撤銷了你的代表。

普通股持有人的表決權是什麼？

除以下有關累積董事投票權的規定外，普通股持有人每股普通股將有權享有一票投票權。

每個項目需要多少票才能獲得批准

如果出席人數達到法定人數，在年會上獲得多數票的六名被提名者將當選。經紀人不投票和被扣留的選票將不影響董事選舉的投票結果。如果有法定人數，代表普通股並有權在年會上投票的股東所投的多數票將構成批准任命均富律師事務所為我們的獨立註冊公共會計師。

關於我們提名的高管薪酬的諮詢投票的批准需要出席或代表出席年會並有權投票的普通股股份的多數贊成票。由於投票是諮詢性質的，因此不會對董事會具有約束力。然而，薪酬委員會在考慮未來的高管薪酬安排時，將考慮投票結果。

撤銷您的委託書或更改您的投票

您可以在會議之前的任何時間撤銷您的委託書和/或更改您的投票。

如果您的共享直接以您的名義註冊，則必須執行以下操作之一：

通過互聯網或電話。按照代理卡上提供的説明，通過互聯網或電話再次投票。只有最後一次互聯網或電話投票將被計算在內。

郵寄的。簽署新的代理卡並按上述説明提交，或向祕書發送撤銷您的代理權的通知，以便在2023年2月28日或之前收到該通知。

親自出席年會。出席會議並親自投票。出席會議不會撤銷您的委託書，除非您特別要求撤銷您的委託書。

如果您的股票是通過經紀人或其他代名人持有的，並且您想要更改您的投票指示，請遵循您的經紀人提供的指示。

2

計票方式

選舉檢查員將被任命為年會的成員。選舉檢查員將確定出席人數是否達到法定人數，並將委託代表或親自在年會上投下的選票列成表格。如閣下已交回有效的委託書或親身出席股東周年大會，則閣下的普通股將計算在內，以確定是否有法定人數。在確定法定人數所代表的股份數目時，將包括棄權票和經紀人反對票。一般來説，當受益所有人沒有就經紀人在沒有受益所有人指示的情況下不允許經紀人投票的事項向其經紀人提供指示時，就會發生經紀人不投票的情況。在列出任何特定提案的投票結果時，構成經紀人非投票權的股票被視為無權就該提案投票。因此，假設獲得法定人數，經紀人的不投票不會影響會議上表決的任何事項的結果。

本次委託書徵集的費用

我們將支付準備和郵寄股東周年大會通知和委託書的費用，包括經紀公司、銀行和其他將募集材料轉發給普通股實益擁有人的費用和開支。我們將通過郵寄的方式徵集代理人。我們的高級管理人員和董事也可以親自或通過電話或傳真徵求代理人，而不需要額外的補償。我們沒有聘請任何外部人士協助徵集委託書；不過，我們已聘請Broadbridge Financial Solutions，Inc.提供與本委託書中的建議相關的某些行政服務，包括協調向普通股受益所有人分發委託書材料、聯繫股東以確保他們已收到本委託書以及監督代理卡的退還。

年報

本公司於截至2022年9月30日止財政年度向股東提交的年度報告(“年度報告”)已與股東周年大會通告及委託書一併郵寄予所有有權知悉股東周年大會及於股東周年大會上投票的股東。年度報告不包含在本委託書中，也不被視為委託書徵集材料。

審計委員會報告

審計委員會報告“所載資料不應被視為已向美國證券交易委員會(”美國證券交易委員會“)”提交，或受第14A或14C條或經修訂的1934年證券交易法(“交易法”)第18節的責任所規限，且不得被視為已通過參考納入根據1933年證券法(經修訂的證券法)或交易法提交的任何文件。

3

建議1--選舉董事

(代理卡上的第1項)

擬選舉的董事人數

我們的董事會目前由7名成員組成，但在2023年年會之後將由6名成員組成。Michael Ludwig先生於2023年1月13日被任命為董事會成員，並將參加2023年年會的選舉。我們的董事之一莫漢先生不會在我們的2023年年會上競選連任。此外，Jong S.Wang先生自2022年12月31日起辭去董事會職務。每一位當選的董事成員的任期為一年，直到他或她的合格繼任者正式當選並獲得資格為止。如果任何董事辭職，或因其他原因無法完成其任期，我們的董事會可以選舉另一位董事來接替辭職的董事的剩餘任期。

需要投票

在年會上獲得最高票數的六名提名者將當選。在董事選舉中有累積投票。這意味着，出席年度大會的每一位普通股持有人，無論是親自或委派代表，在董事選舉中的投票總數將等於6(提名當選為董事的人數)乘以該股東在記錄日期持有的普通股股份數量。由此產生的總票數可以由股東為選舉任何單一的被提名人而投票，或者股東可以在任何數量的或所有被提名人之間分配該等選票。為行使累計投票權，有表決權的股東必須按照代理卡上的説明填寫委託書並註明累計投票權。

董事提名名單

我們的董事會負責監督公司的整體事務。本屆董事會已提名下列人士擔任董事會成員，任期為下一年：

羅伯特·M·阿弗裏克

羅伯特·C·戴格爾

邁克爾·甘賴特

麗莎·D·吉布斯

邁克爾·路德維希

Michael Wang

這些被提名人都已同意在本委託書中被點名，並在當選後任職。關於每一位被提名者的信息，請參見下文。

董事提名的任何人或高管都沒有家族關係。每一位被提名者都是由一位非員工董事推薦的。

本公司董事會建議投票選舉第一號提案中的六名被提名人。董事會委任的代表擬投票選舉每一名被提名人，任期至下一次年度會議結束，除非您在委託書或投票指示卡上另有註明。在這方面，我們的董事會請求授權積累這些選票。

如任何被提名人因任何原因(我們並不預期)而不能獲委任，委託書將投票“支持”董事會於股東周年大會前或在股東周年大會上選出的任何一名或多名替代被提名人，或如董事會在股東周年大會前或股東周年大會上並無選擇任何替代被提名人，則可動議將董事會目前的成員數目減至可供提名的人數。有關被提名人及其所持股份的資料已由他們向本公司提供。

4

有關董事及行政人員的資料

下表列出了截至本文件提交之日，被提名擔任本公司董事的高管和個人的信息。

Michael Wang於2020年1月28日晉升為首席執行官，並於2020年5月5日被任命為董事會成員。王先生於2004年4月加入本公司，擔任董事資訊科技及風險管理部主管。2016年5月，王先生被提升為首席風險官和首席信息官。2018年1月4日晉升為運營副總裁，2019年3月6日晉升為總裁副兼首席運營官。他在Amtech的職責包括參與公司戰略和運營、合規、併購盡職調查和收購後活動，最終完成對Amtech美國業務的運營監督。在加入Amtech之前，王先生曾在幾家科技公司擔任過各種信息技術管理職務。Michael Wang是Amtech創始人和前董事長Jong S.Wang的兒子。

麗莎·D·吉布斯於2016年9月加入Amtech擔任公司總監，並於2018年1月4日晉升為副總裁兼首席會計官。吉布斯女士於2019年3月6日晉升為首席財務官，並於2020年5月5日被任命為董事會成員。在加入Amtech之前，Gibbs女士是一傢俬人諮詢公司的合夥人，在那裏她為客户提供各種會計和財務需求的幫助。2002年至2014年，吉布斯女士擔任財富500強上市信息技術公司Insight Enterprise，Inc.內部審計副主任總裁。Gibbs女士在Amtech的職責包括監督財務戰略、業務規劃、財務、審計運營、投資者關係和業務轉型工作，這使她能夠向董事會提供寶貴的建議。她畢業於亞利桑那大學，獲得會計學工商管理學士學位。吉布斯在Arthur Andersen LLP開始了她的公共會計生涯。她是亞利桑那州的註冊公共會計師。

羅伯特·C·戴格爾於2021年8月12日被任命為董事會成員，並於2022年5月11日被任命為董事會主席。Daigle先生是羅傑斯公司(“羅傑斯”)的高級副總裁和首席技術官，羅傑斯公司是工程材料領域的全球領先上市公司，工程材料包括先進的電子和彈性材料，應用於電動汽車/混合動力汽車、汽車安全和雷達系統、移動設備、可再生能源、無線基礎設施、節能電機驅動器和工業設備。戴格爾在羅傑斯公司任職30年，擔任過多個高級管理職務。在羅傑斯任職期間，戴格爾先生創建並領導了高頻電路材料業務和電力電子解決方案業務。Daigle先生擁有康涅狄格大學化學工程和材料工程學士學位和倫斯勒理工學院工商管理碩士學位。戴格爾先生是我們的審計、薪酬、提名和治理委員會的成員。

5

羅伯特·M·埃弗裏克自2016年1月以來一直是董事用户。Averick先生擁有20多年的小盤股、價值驅動型公共股票投資組合經理經驗。他之前的工作經驗包括在結構性金融、戰略規劃和諮詢領域擔任越來越多的責任職位。Averick先生擁有弗吉尼亞大學經濟學學士學位和賓夕法尼亞大學沃頓商學院金融工商管理碩士學位。自2012年以來，阿弗裏克一直擔任Kokino LLC的投資組合經理。埃弗裏克和他的僱主為其提供投資管理服務的某些實體目前持有Amtech超過18%的流通股。他曾在2005至2006年間擔任我們的董事會成員。Averick先生還在灣島製造公司的董事會任職，該公司是一家制造複雜鋼結構、模塊和船舶的上市公司，也是該公司薪酬委員會、公司治理和提名委員會的成員。此外，埃弗裏克目前擔任場外電子公告板公司PhoneX Holdings，Inc.的董事長，在2018年Key Technology，Inc.出售之前，他曾擔任Key Technology，Inc.的董事董事。Averick先生是我們薪酬委員會的主席，也是我們的審計、提名和治理委員會的成員。Averick先生在財務和戰略規劃方面的經驗使他能夠向董事會和他所服務的委員會提供寶貴的建議。

邁克爾·加恩賴特自2007年2月以來一直擔任董事的董事，並於2020年5月被任命為董事的首席獨立董事。他是我們審計委員會的主席，也是我們薪酬、提名和治理委員會的成員。加恩賴特先生是我們在審計委員會中指定的財務專家。過去兩年，加恩賴特一直擔任加州蒸餾酒裝瓶公司LeVecke Corporation的臨時首席財務長。2015年12月，他從三葉草食品公司財務副總裁兼財務主管總裁的職位上退休。三葉草食品公司是一傢俬營食品及食品相關產品的製造商和分銷商。從2010年1月到2012年8月，加恩賴特在鳳凰城的訴訟和金融諮詢公司菲尼克斯金融取證公司擔任董事的執行董事。從2006年8月到2010年1月，他是旭日餐飲集團有限公司的管理成員，從2008年12月到2009年12月，他是新時代餐飲有限公司的總裁，這兩家公司都是私人持股的餐飲運營公司。2002年至2006年，加恩賴特先生擔任上市餐廳運營公司Main Street Restaurant Group的首席財務官，1976年至2002年，他是Arthur Andersen LLP的高級審計合夥人。加恩賴特先生是上市的非致命性防護設備製造商Axon Enterprise，Inc.(董事長)、全國上市的卡車運輸公司Knight-Swift Transportation Holdings Inc.和Banner Health的董事會成員, 多個州的醫療保健提供系統。他畢業於加州州立大學長灘分校，獲得會計和工商管理學士學位。加恩萊特先生是亞利桑那州的註冊公共會計師和註冊欺詐審查員。加恩賴特先生的財務背景和專業知識使他能夠向董事會提供寶貴的建議。

邁克爾·M·路德維希自2023年1月以來一直是董事用户。2018年9月至2021年5月，擔任羅傑斯公司(簡稱羅傑斯)首席財務官兼財務主管高級副總裁。羅傑斯是工程材料領域公開上市的全球領先者，包括用於電動汽車/混合動力汽車、汽車安全和雷達系統、移動設備、可再生能源、無線基礎設施、高能效電機驅動器和工業設備應用的先進電子和彈性材料。2011年5月至2018年3月，路德維希先生擔任FormFactor，Inc.的高級副總裁兼首席財務官，該公司是一家上市的全球領先企業，設計和製造出售給半導體和科學機構的先進探針卡、分析探頭、探針站、計量系統、熱系統和低温系統。在2011年5月之前，路德維希先生曾在FormFactor、Elo TouchSystems，Inc.和Beckman Coulter擔任過各種高級財務管理職位。路德維希在Arthur Young開始了他的公共會計生涯。他畢業於加州州立理工大學波莫納分校，獲得工商管理和會計學士學位。

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董事會多樣性

2021年8月，美國證券交易委員會批准了納斯達克的董事會多元化規則，該規則要求所有在納斯達克美國交易所上市的公司公開披露董事會層面的多元化統計數據，並擁有或解釋為什麼沒有至少兩名多元化董事。下面的董事會多樣性矩陣以規則要求的格式提供了我們董事會的多樣性統計數據。

有關董事會和委員會會議的信息

有關本公司董事會及由本公司董事會維持的三個委員會的資料載述如下。根據納斯達克和美國證券交易委員會規則，於2022財年，我們的大部分董事不是本公司的僱員，並且是納斯達克上市規則和美國證券交易委員會標準所指的“獨立”董事。重要的是，審計、薪酬、提名和治理委員會的所有成員都是獨立的。目前，我們的獨立董事是羅伯特·M·阿弗裏克、羅伯特·C·戴格爾、邁克爾·甘賴特、邁克爾·M·路德維希和蘇凱什·莫漢。此外，審計委員會的每名成員都精通財務，其中一名審計委員會成員Michael Garnreiter擁有納斯達克規則所要求的財務管理專業知識，並符合美國證券交易委員會對“審計委員會財務專家”的定義。

我們的董事會在2022財年舉行了八(8)次會議。於2022年擔任董事的現任董事出席的董事會會議及相關委員會會議均不少於年內會議總數的75%。根據本公司經修訂及重訂的附例，本公司董事會有權增加或減少本公司董事會的人數及填補空缺，而獲選填補該等空缺的董事將任職至本公司下一屆年會或其繼任者選出及符合資格為止。對於董事會成員出席我們的年會，我們沒有正式的政策。我們所有的董事會成員，不包括路德維希先生，他當時不是董事會成員，參加了2022年的年度會議。

在2022年，我們重組了董事會委員會，其中包括取消技術和戰略委員會，因為預計所有董事會成員都將參與這些討論，並將薪酬和股票期權委員會更名為薪酬委員會。審計委員會、薪酬委員會以及提名和治理委員會是我們董事會的常設委員會。截至2023年1月13日，這些委員會的成員如下：

審計--Michael Garnreiter(主席)、Robert M.Averick、Robert C.Daigle和Sukesh Mohan

薪酬--羅伯特·M·阿弗裏克(董事長)、羅伯特·C·戴格爾、邁克爾·甘賴特和蘇凱什·莫漢

提名和治理--Sukesh Mohan(主席)、Robert M.Averick、Robert C.Daigle和Michael Garnreiter

7

審計委員會在2022財年舉行了五(5)次會議。審計委員會協助董事會履行其對獨立核數師和財務管理成員以及我們的財務事務的監督責任，包括財務報表和審計、內部會計控制和制度的充分性和有效性、遵守法律和監管要求以及獨立註冊會計師事務所的保留和終止。審計委員會有一份書面章程，於2022年更新，其副本可在我們的網站www.amtechsystems.com上找到。

審計委員會由非本公司或其附屬公司的高級管理人員或僱員的外部董事組成。本公司董事會認為，根據納斯達克上市規則及美國證券交易委員會標準對“獨立”的定義，該等董事獨立於管理層，並無任何會干擾彼等作為本委員會成員行使獨立判斷的任何關係。此外，審計委員會的每名成員都精通財務，其中一名審計委員會成員Michael Garnreiter擁有納斯達克規則所要求的財務管理專業知識，並符合美國證券交易委員會對“審計委員會財務專家”的定義。

薪酬委員會在2022財年舉行了一(1)次會議。薪酬委員會就官員薪酬、福利方案和退休計劃提出建議。薪酬委員會的每一位成員都是《董事上市規則》和《美國證券交易委員會》標準中所界定的一名“獨立的美國證券交易委員會”。薪酬委員會有一份書面章程，該章程於2022年更新，其副本可在我們的網站www.amtechsystems.com上找到。

提名和治理委員會在2022財政年度舉行了兩(2)次會議。提名和治理委員會確定和批准有資格擔任董事會成員的個人，並評估董事會的表現。在評估一名潛在的被提名人時，提名和治理委員會會考慮幾個因素，包括個人的誠信、商業技能、經驗和判斷力。提名與治理委員會對董事被提名人的評估也考慮了潛在董事會成員背景的多樣性。提名和治理委員會還審查潛在的被提名人是否符合我們的獨立性標準以及法律、法規或證券交易所規則規定的任何其他董事或委員會成員要求。提名與治理委員會將考慮但不一定要批准我們的股東提出的董事提名，前提是我們在不遲於股東提案必須在該年度會議之前提交供審議的日期之前收到書面推薦，並且所有其他適用的要求都已得到滿足。提名和治理委員會還向董事會制定和建議公司治理準則，並提供道德行為方面的監督。提名和治理委員會的每一位成員都是《董事上市規則》和《美國證券交易委員會》標準中所界定的一名“獨立的美國證券交易委員會”。提名和治理委員會有一份書面章程，該章程於2022年更新，其副本可在我們的網站www.amtechsystems.com上查閲。

董事會領導結構

Robert C.Daigle先生目前擔任本公司董事會主席(“主席”)。我們的公司治理準則(在下文中討論)規定，最好的做法是將董事長和首席執行官的職位分別保留為不同的角色。在未分開該等角色的情況下，董事會將任命一名首席董事，其職責由董事會決定。戴格爾先生被任命為董事長後，董事會決定取消由公司現任董事會成員邁克爾·加恩賴特先生擔任的董事董事會主要獨立職位。

董事會2022年治理項目和公司治理特徵

在2022年期間，我們的董事會開展了幾個治理項目，包括：

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在2022年期間，我們的董事會通過了公司治理準則，這些準則反映了董事會對健全的公司治理實踐的堅定承諾，並鼓勵董事會和管理層制定有效的政策和決策，以期為公司股東提高長期價值。我們的公司治理準則的副本可在我們的網站www.amtechsystems.com上找到。2022年項目亮點如下：

退休政策-我們的公司治理指引規定，董事不得在其年滿75歲期間或之後競選連任。如果董事會認為該董事將繼續對董事會的工作作出重大貢獻，董事會有權要求該董事繼續留在董事會。

反套期保值、反賣空和反質押政策-我們的董事會認為，任何董事、高管或員工不宜進行公司證券的投機性交易，以及允許持有人在沒有所有權的全部風險和回報的情況下擁有公司證券，但可能將持有人的利益與其他股東的利益分離的交易。因此，我們的公司治理準則禁止董事、高級管理人員或員工購買或出售基於公司證券的看跌、看漲、期權或其他衍生證券。這些準則還禁止對衝或貨幣化交易，如遠期銷售合同，在這些交易中，持有者繼續擁有標的證券，而不承擔所有權的所有風險或回報。根據我們的內幕交易政策條款，我們的董事和高管還被禁止從事賣空我們的普通股、以保證金方式購買證券，或者除非事先得到我們首席財務官的書面同意，否則不得將證券質押作為貸款或其他安排的抵押品。

追回政策-我們的追回政策規定，在公司被要求編制會計重述的前三年期間，追回授予公司任何現任或前任高級職員的激勵性薪酬(根據1934年《證券交易法》修訂後的第16a-1(F)條規則定義)，原因是：(A)重大違反證券法下的任何財務報告要求，而任何實際授予或支付給高級職員的績效薪酬，如果根據該等重述結果計算，將會是較低的金額，或(B)該高級職員從事違反法律或本公司《道德及商業操守守則》規定的不當行為，而該等不當行為對本公司造成直接及重大的財務或聲譽不利影響。

適用於獨立董事的股權指引-董事會認為，股權使其董事的利益與股東的利益保持一致，促進健全的公司治理，並表明對公司的承諾。因此，董事會通過了股權指導方針，要求獨立董事會成員持有公司普通股，總價值相當於這些董事收到的年費的四倍(非僱員董事為160,000美元，董事長為300,000美元)。那些目前不符合這一所有權門檻的獨立董事必須在本準則通過後五年內達到這一門檻。

董事會在風險監管中的作用

我們的董事會積極參與對可能影響公司的風險的監督，這種監督的關鍵方面是通過董事會的委員會進行的。審計委員會專注於財務風險，主要是我們的會計和財務報告過程中可能出現的風險，並監督與合規相關的法律和監管風險。提名和治理委員會的重點是管理與公司治理事項有關的風險，包括董事會組織、成員和結構；管理髮展；以及適當的批准和監督機制。薪酬委員會專注於管理我們的薪酬政策和計劃產生的風險，特別是我們的高管薪酬計劃和政策。

雖然我們董事會的委員會專注於上述具體的風險領域，但董事會全體成員仍有責任對風險進行全面監督。委員會主席應定期向董事會全體成員報告各委員會專業領域內的風險考量。執行管理團隊定期向董事會或適當的委員會提交重大風險領域的報告，包括運營、財務、法律、監管和戰略風險。此外，我們每個部門和子公司的一般管理和運營領導與董事會全體成員一起審查他們的個人評估

9

以及他們管理這些風險的方法。審計委員會依靠這些報告及其與這些報告有關的討論，使其能夠了解我們識別、管理和減輕風險的戰略。這一結構使董事會及其委員會能夠協調其風險監督作用。如上所述，董事會對風險監督的方法不會直接影響我們董事會的領導結構。

董事薪酬

下表顯示了2022財年以現金形式向所有董事賺取和支付的所有費用的總美元價值，以及2022財年向董事授予股票期權獎勵的公允價值。

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在2022財年，非僱員董事每年獲得1.8萬美元的董事會預聘費，但董事長戴格爾除外，他按比例獲得2.9萬美元的董事會預聘費(根據他的任命日期)。審計委員會、薪酬委員會、提名委員會和治理委員會主席分別獲得15 000美元、6 000美元和6 000美元的聘用費。從2023年開始，非僱員獨立董事將獲得以下年度聘用金：

在2021年和2022年上半年，非僱員獨立董事按季度支付薪酬，而不是按每次會議支付。季度費用定為3437.50美元。2022年年中，我們為非僱員董事會成員設定了新的年度預聘費，按季度支付40,000美元。上表中的2023年董事會聘用人將繼續按季度按比例支付薪酬。我們向所有董事報銷出席董事會和委員會會議的合理費用。

除上述所列現金付款外，根據本公司慣例，每名非僱員董事於首次獲選或獲委任為董事會成員時，將獲授購股權以購買6,000股普通股或董事會釐定的其他股份數目，以及於每次於股東周年大會上或董事會釐定的其他時間再選入董事會時，購入6,000股普通股或董事會釐定的其他股份數目。期權的行權價格等於我們普通股在授予之日的收盤價。每項購股權的年期為十年，並可於授權日的一年週年日或董事會決定的其他日期行使。倘若董事以外人士傷殘(定義見2022年股權計劃)或身故，所有購股權將於該人士不再為董事之日起12個月內或董事會決定之其他日期內仍可行使，但僅限於該等購股權可於董事不再為董事之日行使。如果董事因死亡或殘疾以外的原因(如本計劃所定義)而不再是董事，

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所有購股權在該人士不再是董事之日起90天內或董事會可能釐定的其他日期內仍可行使，惟有關購股權僅可於董事不再為董事之日行使。

自2023年起，本公司主席及其他非僱員董事在本公司股東周年大會上或董事會可能決定的其他時間每次獲選為董事會成員時，將分別獲得75,000美元及40,000美元的限制性股票單位(“RSU”)。這些RSU將在授予之日的一年紀念日授予。

高管薪酬

薪酬理念

我們的薪酬委員會負責評估我們高管的薪酬，並確保他們以與我們的薪酬戰略和資源、競爭做法以及適當監管機構的要求一致的方式有效地獲得薪酬。

我們的薪酬委員會制定了我們對每位高管的一般薪酬政策和具體薪酬，並管理我們的股票激勵計劃。此外，我們的薪酬委員會負責制定、管理和解釋我們指定的高管和其他關鍵員工的薪酬計劃。我們的薪酬委員會可以在必要時將其部分或全部責任委託給一個或多個小組委員會，以遵守任何法律或法規要求，或我們的薪酬委員會認為適當的其他方面。我們的薪酬委員會有權聘請顧問和其他顧問協助履行其職責，並有權批准這些顧問和顧問的費用和其他保留條款。

我們的薪酬理念有以下基本目標：通過在股東價值增加時獎勵高管來協調我們高管和股東的利益，並激勵我們的高管管理我們的業務，以實現我們的短期和長期公司目標和業務目標，併為實現這些目標而獎勵他們。我們使用基本工資和現金激勵獎金形式的短期薪酬和股權激勵薪酬形式的長期薪酬的組合，以提供旨在鼓勵我們的高管實現這些目標的總薪酬結構。我們的業績，包括但不限於股本回報率、投資資本回報率、收益、收入增長、現金流和持續改進舉措，是我們評估和薪酬水平的重要組成部分。

2019年，薪酬委員會將現金激勵獎金計劃中使用的指標改為投資資本回報率(ROIC)指標。ROIC指標用於激勵高管進行盈利能力和資產負債表管理。獎金計劃旨在確保在獲得獎金之前獲得一定水平的股東回報。股權激勵計劃旨在包括明確的目標和目的，實現這些目標可能會導致向高管發放股票期權或限制性股票單位。

2022年基本工資和福利

2021年11月16日，Michael Wang先生(“Wang先生”)和Gibbs女士分別獲得12,000份和10,000份期權。這些獎項從2021年11月16日授予日的第一個至第三個週年紀念日開始，分成等額的部分。

2022年的補償計劃沒有額外的變化。

2022年獎勵計劃和酌情發放的獎金

2022年，根據2022年激勵獎金計劃獲得激勵獎金。薪酬委員會設定了10%的ROIC目標，該公司在2022財年實現了23.4%的實際ROIC。這一業績產生了總計約120萬美元的激勵資金。獎勵池的分配由薪酬委員會酌情決定。薪酬委員會根據管理層的建議，核準向王先生和吉布斯女士分別支付326 777美元和231 456美元的獎勵款項。此外，薪酬委員會核準，每個被任命的執行幹事的獎金的60%

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將以現金支付，其餘40%將以根據Amtech Systems，Inc.2022股權激勵計劃授予的完全歸屬股票結算。獎勵的股票數量是根據薪酬委員會批准獎勵付款之日公司普通股的收盤價計算的。

2023年補償計劃

2022年11月28日，王先生和吉布斯女士分別獲得了12,000份和10,000份期權。這些獎項從2022年11月28日授予日的第一個至第三個週年紀念日開始分成等額的部分。

2023年的補償計劃沒有額外的變化。

薪酬彙總表

下表列出了在截至2022年9月30日和2021年9月30日的財年中，我們指定的高管獲得、賺取或支付的所有薪酬。

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除了上述薪酬外，我們指定的高管還會報銷合理的自付業務費用，並獲得通常適用於我們所有員工的慣常福利，包括報銷手機費用、持續專業教育課程的費用和相關福利。

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財政年度末未償還的股權獎勵

下表列出了截至2022年9月30日我們任命的執行幹事授予基於計劃的期權獎勵的信息：

期權行權和既得股票

下表列出了我們任命的高管在截至2022年9月30日的財年中行使基於計劃的期權獎勵的信息：

僱用及更改管制安排

與首席執行官和首席財務官簽訂的控制和服務協議的變更

我們分別於2018年5月18日和2018年5月16日與我們的總裁兼首席執行官Michael Wang和我們的副總裁兼首席財務官Lisa D.Gibbs簽訂了控制權變更和服務協議。以下是這些協議的條款和條件的摘要。

術語

這些協議的初始期限為三年。此後，除非本公司或僱員在每一一年期限結束前不少於120天發出終止協議的書面通知，或除非經本公司和僱員雙方書面同意提前終止，否則協議終止期限將持續一年。

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遣散費

倘若吾等終止聘用Michael Wang先生或Gibbs女士，但並非因其身故、傷殘、控制權變更或其他原因，或該僱員因正當理由(該等條款在協議中有所界定)而終止僱用，則該僱員有權領取至終止日期為止的薪金，另加相等於僱員於終止及全數歸屬其持有的所有已發行股票及限制性股票之日生效的六個月基本薪金的金額(見上表“財政年終之傑出股權獎勵”)。如果任何一名僱員自願終止僱傭關係而非正當理由，如果我們有理由終止該僱員的僱傭關係，或該僱員的僱傭關係因其死亡或殘疾而被終止，則該僱員將有權領取工資和累積假期，直至終止僱用之日為止。

控制權的變化

如果該員工在我們公司的控制權變更期間(該術語在協議中定義)期間或在“控制權變更”(該術語在協議中定義)發生後一年內，或(Ii)在本公司控制權變更發生後一年內，由於任何其他原因而終止僱傭關係，或(Ii)在本公司控制權變更發生後的一年內，員工有權在其僱傭終止之日起30天內獲得報酬(但前提是，如該30天期間開始於某一歷年，並於另一歷年結束，僱員將無權指定(I)一筆相等於僱員於終止僱傭當日生效的六個月基本薪金的款額(見上表“財政年度年終傑出股權獎勵”)，以代替以其他方式支付的遣散費(見上表)。

與風險管理相關的薪酬政策和做法

薪酬委員會認為，我們的薪酬政策和做法不會產生合理可能對公司產生重大不利影響的風險。薪酬委員會已確定，我們的高管薪酬計劃不鼓勵因以下因素而承擔不必要或過度的風險：

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道德守則

根據提名和治理委員會的建議，董事會通過了一項面向所有員工的道德守則。本道德準則的副本可在我們的網站www.amtechsystems.com上查看，或通過向我們的公司祕書提出書面請求免費獲取。我們打算在上述公司網站上披露對我們的道德準則的任何修訂。

2022年與關聯人的交易

於2022財年，吾等並無與我們所知擁有或實益擁有超過5%普通股的任何董事、董事代名人、高管、證券持有人或上述任何人士的直系親屬進行任何涉及金額超過120,000美元的交易。

董事會的書面政策是由其提名及管治委員會及審核委員會審核每項關連人士交易(定義見下文)，並決定是否批准或批准該交易。任何擁有任何利益(實際或察覺的)的董事會成員不會參與董事的考慮。

就本保單而言，“關連人士交易”指吾等參與的任何交易、安排或關係，而該關連人士(定義見下文)曾擁有、擁有或將會擁有直接或間接的重大利益，而在任何歷年所涉及的總金額預計超過120,000元。“相關人士”包括(A)任何現在或過去(在上一個財政年度的任何時候)是或曾經是董事官員、董事或被提名人的人；(B)任何擁有超過5%有投票權證券的實益擁有人的人士或團體；(C)本句(A)或(B)項所述人士的任何直系親屬；或(D)任何上述人士受僱、是合夥人或擁有超過5%實益擁有權權益的實體。

在決定是否批准或批准關聯人交易時，董事會或委員會將考慮多種因素，包括(A)關聯人在交易中的權益程度；(B)是否有其他來源的可比產品或服務；(C)條款是否與與非關聯人的類似交易中普遍提供的條款具有競爭力；(D)對我們的好處；以及(E)交易的總價值。

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審計委員會報告

根據本公司董事會於2022年5月10日通過的書面章程(可於本公司網站www.amtechsystems.com下載)，審計委員會負責與管理層審閲及討論經審計的財務報表，與本公司的核數師討論與核數師對本公司會計實務質量的判斷有關的資料，向本公司董事會建議本公司將經審計的財務報表納入其10-K表年報，並監督對美國證券交易委員會有關披露核數師服務及活動要求的遵守情況。此外，審計委員會直接負責獨立註冊會計師事務所的任命、薪酬、保留和監督。

董事會每年根據納斯達克上市標準和美國證券交易委員會對審計委員會成員獨立性的定義來審查審計委員會成員的獨立性。審計委員會已確定審計委員會的每個成員都符合這些定義和標準。此外，審計委員會的每名成員都精通財務，其中一名審計委員會成員Michael Garnreiter擁有納斯達克規則所要求的財務管理專業知識，並符合美國證券交易委員會對“審計委員會財務專家”的定義。

管理層負責公司財務報表、會計和財務報告原則、內部控制和程序的編制、列報和完整性，以確保符合會計準則和適用的法律法規。本公司的獨立審計師負責對合並財務報表進行獨立審計，並就這些財務報表是否符合美國上市公司會計監督委員會的標準發表意見。審計委員會在履行其監督職能時，必須依賴管理層和獨立審計師的工作和保證，以及他們提供的信息。

審計委員會在公佈公司季度收益新聞稿以及提交公司10-Q季度報告和10-K年度報告之前，與外部審計師和管理層會面，審查公司的財務業績。此外，管理層全年定期向審計委員會提供公司遵守2002年《薩班斯-奧克斯利法案》第404條要求的最新情況。委員會還監測外聘審計員的活動和業績，包括審計範圍、審計費用、審計員獨立性和非審計服務的業績。所有由本公司獨立註冊會計師事務所提供的服務均須經審計委員會預先批准。

審計委員會定期與沒有管理層出席的獨立會計師開會，也在沒有其他人出席的情況下在執行會議上開會。審計委員會審閲了本公司截至2022年9月30日的財政年度的綜合財務報表，並已由其獨立審計師均富律師事務所(“均富”)審計，並與管理層討論了這些財務報表。此外，審計委員會還與均富會計師事務所討論了上市公司會計監督委員會通過的第1301號審計準則(與審計委員會的溝通)所要求討論的事項。此外，審計委員會已收到均富上市公司會計監督委員會關於均富與審計委員會就獨立性進行溝通的適用要求的書面披露和均富的信函，並已與均富就其獨立性進行了討論。

基於上述審查和討論，審計委員會建議董事會將截至2022年9月30日的會計年度經審計的財務報表納入公司提交給美國證券交易委員會的10-K表格年度報告。

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前置審批政策

審計委員會的章程包括一項事前審批政策(下稱“政策”)，對我們的獨立核數師提供的所有審計和非審計服務進行審批，以確保該等服務的執行不會損害核數師的獨立性。

根據該政策，審計委員會將每年審查和預先批准服務類型，並將對獨立審計師可能在下一年提供的此類服務的費用設定上限。該政策具體描述了年度審計服務和費用、與審計相關的其他服務、準備納税申報表和與税務相關的合規服務以及所有其他經審計委員會一般預先批准的服務。任何一般預批的期限為自預批之日起十二(12)個月，除非審計委員會特別規定不同的期限。

任何由獨立核數師提供的服務，如未根據政策獲得一般預先批准，須在大部分合約開始前提交審計委員會審批。任何超過預先核準的費用水平的擬議服務也必須提交審計委員會進行具體核準。在截至2022年9月30日和2021年9月30日的財政年度，我們的獨立審計師提供的所有服務均經審計委員會根據政策預先批准。

審計委員會將根據後來的決定，不時修訂一般預先核準的服務清單。審計委員會不會將其預先批准獨立審計師提供的服務的責任下放給管理層。

披露審計和非審計費用

下表列出了我們的獨立審計師均富律師事務所(“均富”)和我們的前獨立審計師Mayer Hoffman McCann P.C.(“MHM”)在截至2022年9月30日和2021年9月30日的財政年度內為審計我們的年度財務報表和審查我們的季度財務報表而向我們收取的費用，以及在這些會計年度內我們的審計師為以下方面收取的費用：(I)與審計或審查財務報表的表現合理相關且未報告為審計費用的服務，(Ii)與税務合規有關的服務，税務諮詢和税務籌劃，以及(Iii)提供服務的所有其他費用。

幾乎所有在MHM股東控制下工作的MHM人員都是CBIZ公司全資子公司的員工，CBIZ公司以另一種實踐結構向MHM提供人員和各種服務。

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第2號提案--核準批准

獨立註冊會計師

(代理卡上的第2項)

審計委員會已選擇獨立註冊會計師事務所均富會計師事務所(“均富會計師事務所”)審計我們截至2023年9月30日的財政年度的財務報表，並正在尋求股東批准這一選擇。無論遴選是否獲得批准，審計委員會都負責對審計員的遴選和持續監督，並有權在其認為合適的情況下取代均富擔任2023財年的審計員。股東周年大會後的任何該等變動將不會提交股東批准。

董事會預計均富的一名或多名代表將出席年會。任何這類代表都將有機會發言，如果他們願意的話，並將有機會回答適當的問題。

2021年11月獨立審計師的變動

MHM之前受聘審計我們截至2021年9月30日的年度綜合財務報表，並於2021年11月17日被解聘為我們的獨立註冊會計師事務所。解僱MHM的決定是確定該公司截至2022年9月30日的財政年度的獨立註冊公共會計師事務所的競爭性投標過程的一部分。

MHM於本公司截至2021年及2020年9月30日及截至9月30日止年度的綜合財務報表的審計報告並無任何不利意見或免責聲明，亦無對不確定性、審計範圍或會計原則有任何保留或修改。在截至2021年9月30日及2020年9月30日止的最近兩個財政年度內，本公司並無(1)在會計原則或實務、財務報表披露或審計範圍或程序等事項上與MHM有任何分歧，而此等分歧如未能得到令MHM滿意的解決，本會導致MHM在其報告中參考該等分歧的主題；及(2)S-K規則第304(A)(1)(V)項(A)至(D)段所列類型的事件。

在公司截至2021年9月30日和2020年9月30日的最近兩個會計年度內，公司或代表公司行事的任何人均未就以下兩方面與均富諮詢：(I)對已完成或擬進行的特定交易的會計原則應用；或可能在公司財務報表上提出的審計意見的類型，且均未向公司提供書面報告或口頭建議，均不是均富認為是公司就會計、審計或財務報告問題作出決定時考慮的重要因素；或(Ii)屬於分歧(如S-K條例第304項(A)(1)(Iv)段及其相關指示所界定)或須報告事件(如S-K條例第304項(A)(1)(V)段所述)的任何事項。

需要投票

出席股東周年大會或由受委代表出席並有權就建議投票的多數股份持有人須投贊成票，方可批准將均富律師事務所選為本公司截至2023年9月30日的財政年度的獨立註冊會計師事務所。然而，即使選擇獲得批准，如果審計委員會確定這樣的變化將符合本公司和我們股東的最佳利益，則審計委員會可在年內任何時候酌情選擇不同的獨立註冊會計師事務所。

董事會建議投票批准均富律師事務所作為我們截至2023年9月30日的財政年度的獨立註冊公共會計師事務所。

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提案3--就一項諮詢(不具約束力)決議進行表決

批准指定的高管薪酬

(代理卡上的第3項)

多德-弗蘭克法案要求我們的股東有機會就我們任命的高管的薪酬問題進行不具約束力的諮詢投票。這項建議通常被稱為“薪酬話語權”建議，讓我們的股東有機會就我們指定的高管的薪酬發表他們的意見。

關於高管薪酬的諮詢投票不是對我們一般的、未具名的高管薪酬政策、我們董事會的薪酬或我們與風險管理有關的薪酬政策的投票。

我們的薪酬委員會制定了我們對每位高管的一般薪酬政策和具體薪酬，並管理我們的股權激勵薪酬計劃。我們的薪酬委員會負責制定、管理和解釋高管和其他關鍵員工的薪酬計劃。

本委託書敦促股東閲讀本委託書的高管薪酬部分和本委託書中有關指定高管薪酬的表格披露(連同隨附的敍述性披露)，其中討論了我們的薪酬政策和程序如何實施我們的薪酬理念。薪酬委員會和董事會相信，這些政策和程序在執行我們的薪酬理念和實現其目標方面是有效的。

本建議3要求的投票是諮詢意見，因此對本公司、我們的董事會或我們的薪酬委員會沒有約束力，其結果也不需要本公司、我們的董事會或我們的薪酬委員會採取任何行動。此外，投票結果不會被解釋為推翻本公司或董事會的任何決定。

此外，由於這項不具約束力的諮詢決議主要涉及我們被點名的執行幹事的薪酬，這些薪酬已經支付或合同承諾，我們通常沒有機會重新審查這些決定。然而，我們的董事會，包括我們的薪酬委員會，重視我們股東的意見，如果本委託書中披露的高管薪酬有任何重大投票反對，我們將考慮我們股東的擔憂，並評估採取什麼行動(如果有的話)可能是解決這些擔憂的適當措施。

審計委員會認為，我們提名的執行幹事的薪酬是適當的，並建議投票贊成以下諮詢(不具約束力)決議：

決議：股東根據美國證券交易委員會薪酬披露規則(包括薪酬理念、薪酬表格和任何相關材料)披露的、在諮詢(非約束性)基礎上批准本公司被點名高管的薪酬。

董事會建議您表明您對上述決議中所概述的我們被任命的高管的薪酬政策和程序的支持。

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某些實益所有人和管理層的擔保所有權

下表列出了有關截至2023年1月13日我們普通股的實益所有權的某些信息，包括(I)每一位董事、董事被提名人和被提名的安邁高管，以及(Ii)作為一個集團的安邁科技的所有高管、董事和董事被提名高管。下表所列信息是根據《交易法》第13d-3條規則確定的，並以下列人員提供的信息為基礎。除另有説明外，每名上市股東對指明為實益擁有的股份擁有獨家投票權及投資權。

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*低於1%。

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下表列出了有關我們普通股實益所有權的某些信息，這些信息基於公司截至2023年1月13日收到的信息，這些信息是由我們根據此類備案文件所披露的、我們所知的持有我們普通股5%以上的每個人(上表披露的董事或高管除外)所獲得的。

____________________

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根據股權補償計劃獲授權發行的證券

下表列出了截至2022年9月30日的某些信息，涉及授予我們所有股權補償計劃參與者的未償還普通股購買選擇權和權利，以及根據此類股權補償計劃剩餘可供發行的普通股數量。

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其他事項

年報

隨函附上我們截至2022年9月30日的財政年度報告。

股東在下一屆年會上提出行動建議的截止日期

在截至2023年9月30日的財政年度，股東如希望提名人選進入本公司董事會或提出其他事項於本公司股東周年大會上審議，必須在不早於2023年11月7日，亦不遲於12月7日，就董事提名或股東建議，以及本公司經修訂及重新修訂的附例中指定的資料，向本公司發出事先通知。建議股東查看我們修訂和重新修訂的章程，其中包含對董事提名和股東提案提前通知的要求。董事提名和股東提案的通知必須郵寄給我們的公司祕書，地址為亞利桑那州坦佩南克拉克大道131號，郵編：85288。本公司經修訂及重訂的附例中有關預先通知股東建議的規定，並不適用於根據1934年《證券交易法》(下稱《交易法》)規則14a-8適當提交的建議，因為該等股東建議受規則14a-8所管限。對於任何不符合我們修訂和重新修訂的章程以及其他適用要求的董事提名或股東提議，我們保留拒絕、排除違規或採取其他適當行動的權利。

我們預計將於2024年3月6日召開2024年股東年會。根據交易法規則14a-8，希望提交建議的股東必須在2023年12月14日之前提交建議。然而，如果我們截至2023年9月30日的財年的年度股東大會日期從上一年會議日期的週年紀念日起更改了30天以上，那麼在我們開始打印和發送截至2023年9月30日的財年2024年股東年會的委託書之前，最後期限將是一個合理的時間。股東的提案必須符合美國證券交易委員會適用規則的所有要求，包括規則14a-8，並應提交給亞利桑那州坦佩南克拉克大道131號Amtech Systems，Inc.的公司祕書，郵編85288。如果一項股東提案在2024年股東周年大會上提出，而我們的委託書中沒有討論該提案，並且股東沒有按照美國證券交易委員會規則14a-4(C)(1)的規定，在2024年1月21日或之前通知我們有意在股東周年大會上提出該提案，則吾等收到的2024年股東周年大會的委託書將由委託書中指定的人酌情就該提案進行投票。

股東與董事會的溝通

我們沒有股東與董事會溝通的正式程序。然而，任何擬提交董事會或任何董事會委員會的事項應提交給我們的公司祕書，地址為亞利桑那州坦佩南克拉克大道131號，郵編：85288，並要求將其轉交給預定的收件人。所有交付給公司祕書以轉交給董事會或指定董事會成員的股東通信將按照股東的指示轉發。

沒有引用註冊的公司

在我們提交給美國證券交易委員會的文件中，信息有時會被“通過引用併入”。這意味着我們建議您參考之前提交給美國證券交易委員會的信息，這些信息應被視為特定申報文件的一部分。如美國證券交易委員會條例所規定及上文所述，本委託書中明確包含的“審計委員會報告”並未以參考方式併入美國證券交易委員會的任何其他備案文件中，且不應被視為“徵集材料”。此外，該委託書還包括幾個網站地址。這些網站地址僅用於提供不活躍的文本參考。這些網站上的信息不是本委託書的一部分。

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代用材料的保有量

美國證券交易委員會允許公司和中間人(即經紀商)通過向兩個或多個證券持有人發送一份針對這些證券持有人的委託聲明，來滿足對共享相同地址的兩個或多個證券持有人的委託聲明的交付要求。這一過程通常被稱為“持家”，這可能意味着證券持有人的額外便利和公司的成本節約。

如果您目前在您的地址收到我們的委託書和年度報告的多份副本，並希望要求保管您的通信，請聯繫您的經紀人。一旦您選擇對您的通信進行管家，管家將繼續，直到您收到其他通知或直到您撤銷您的同意。如果您在任何時候不再希望參與房屋管理，並希望收到單獨的委託書和年度報告，如果您以街道名義持有股票，請通知您的經紀人，如果您是亞利桑那州85288南克拉克大道131號Amtech Systems，Inc.的公司祕書，請將您的書面請求發送給我們的公司祕書。目前參與家族控股的股東可以通過撥打(480)967-5146與我們聯繫，要求獲得委託書和年度報告的更多副本。

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掃描以查看材料並投票給Amtech Systems，Inc.C/O代理服務郵政信箱9142 Farmingdale，NY 11735 Vote by Internet-www.proxyvote.com或掃描上面的二維碼使用互聯網傳輸您的投票指令並以電子方式傳遞信息，直到晚上11：59。東部時間在截止日期或會議日期的前一天。按照説明獲取您的記錄並創建電子投票指導表。未來代理材料的電子遞送如果您想減少我們公司郵寄代理材料所產生的成本，您可以同意通過電子郵件或互聯網接收所有未來的代理聲明、代理卡和年度報告。要註冊電子交付，請按照上面的説明使用互聯網進行投票，並在出現提示時表明您同意在未來幾年以電子方式接收或訪問代理材料。電話投票-1-800-690-6903使用任何按鍵電話傳輸您的投票指令，直到晚上11：59。東部時間在截止日期或會議日期的前一天。打電話時手持代理卡，然後按照説明進行操作。郵寄投票標記，簽署並註明您的代理卡日期，然後將其放入我們提供的已付郵資的信封中退回，或將其退回至Vote Processing，C/o Broadbridge，51 Mercedes way，Edgewood，NY 11717。D94885-P83861 Amtech Systems，Inc.董事會建議表決：對提案1、2和3投贊成票1.董事選舉：被提名人：扣留1a。1B.Michael Wang Lisa D.Gibbs 2.批准任命均富律師事務所為截至9月30日的財政年度的獨立註冊會計師, 2023年；反對棄權1c。1D。1E。批准隨附的委託書中披露的與被任命的高管薪酬有關的諮詢(不具約束力)決議；並處理在大會或其任何延期或休會之前適當提出的其他事務。1F。Michael M.Ludwig要指定累積投票的方法，請在右邊的方框中標上“X”，並在反面的線條上寫下您希望投票給每個被提名者的股份數量。每個股東在董事選舉中的總投票數等於6(被提名參加董事選舉的人數)乘以該股東在記錄日期所持有的普通股股票數量。由此產生的總票數可以由股東為選舉任何單一的被提名人而投票，或者股東可以在任何數量的或所有被提名人之間分配該等選票。為行使累積投票權，有表決權的股東必須填寫委託書，並按照委託書上的説明註明累積投票權。如果您要親自出席會議，請選中此處。是沒有授權簽名-必須完成才能執行您的指令。請與您的帳户上顯示的姓名完全相同地簽名。如以聯名租約形式持有，所有人士均須簽署。受託人、管理人等, 應包括所有權和權威性。公司應提供公司全稱和簽署代理卡的授權人員的頭銜。有關年度會議代理材料供應的重要通知：通知和代理聲明以及10-K總結可在www.proxyvote.com上查閲。D94886-P83861 Amtech Systems，Inc.股東周年大會當地時間2023年3月1日上午9：00本委託書由Amtech Systems，Inc.的以下籤署股東董事會徵集。特此任命Michael Wang和Lisa D.Gibbs或他們中的任何一人為代理人，各自有權任命他的繼任者，並授權他們代表並投票，如本投票背面所指定的那樣，Amtech Systems，Inc.的所有普通股。股東有權於當地時間2023年3月1日(星期三)上午9：00在位於美國亞利桑那州梅薩市Riverview N.860 N Riverview West的喜來登臺面酒店舉行的年度股東大會上投票，以及其任何續會或延期。當該代理被正確執行時，將按照本文所述的方式進行投票。如果沒有做出這樣的指示，該委託書將根據董事會的建議進行表決。Cumulate____________________________________________________________________________________________(如果您注意到上面的累積投票説明，請勾選背面相應的方框。)請務必在這張委託書上簽名並註明日期，並在背面註明

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