附件24

授權委託書

請注意，以下簽名的每個人構成並任命Michael Wang和Lisa D.Gibbs，以及他們中的每一人、其真實合法的事實代理人和代理人，並以他的名義、地點和代理，以任何和所有身份，以他的名義、地點和代理，以任何和所有身份簽署Amtech Systems，Inc.截至2022年9月30日的財政年度Form 10-K年度報告，以及對Form 10-K年度報告的任何和所有修改，並將其連同所有證物和與此相關的其他文件提交給證券交易委員會，授予上述事實律師和代理人，以及他們每一人充分的權力和授權，在物業內和周圍進行和執行每一項必要和必要的行為和事情，以及他本人可能或可以親自進行的所有意圖和目的，在此批准並確認所有上述事實律師和代理人，或其替代者或其替代者，可以合法地進行或導致根據本條例進行的一切行為。