附件23.2

獨立註冊會計師事務所的同意

我們同意以引用方式將S-8表格(第333-09911、第333-131051、第333-145454、第333-168606、第333-168607、第333-196937、第333-196940、第333-204431和第333-263875號表格)納入本公司於2021年11月17日提交的報告中，內容涉及Amtech Systems，Inc.截至2021年9月30日的綜合財務報表，以及截至2021年9月30日止兩個年度的每一年度的10-K表格年報。