附件23.1

獨立註冊會計師事務所的同意

我們已經發布了日期為2022年11月30日的報告，涉及Amtech Systems，Inc.截至2022年9月30日的年度報告Form 10-K中的合併財務報表。我們同意將上述報告以引用方式併入Amtech Systems，Inc.以S-8格式提交的註冊聲明(文件編號：第333-263875、第333-204431、第333-196940、第333-196937、第333-131051、第333-145454、第333-09911、第333-168606、第333-168607號)。