附件21.1

Amtech Systems,Inc.及其子公司

註冊人的子公司

 

名字

 

成立為法團的司法管轄區

布魯斯技術公司

 

馬薩諸塞州

 

 

 

BTU歐洲有限公司

 

英國

 

 

 

BTU國際公司

 

特拉華州

 

 

 

BTU有限公司(上海)

 

中國

 

 

 

BTU海外有限公司。

 

特拉華州

 

 

 

北通海外(上海)有限公司。

 

中國

 

 

 

InterSurface Dynamic公司

 

康涅狄格州

 

 

 

P.R.霍夫曼機械產品公司

 

亞利桑那州

 

 

 

坦普拉斯系統公司

 

德克薩斯州