EX-10.9

本文檔中包含的某些用括號標記的機密信息已被省略，因為公開披露的這些信息(I)不是實質性的，(Ii)具有競爭性有害。

如您所知，我們一直在討論您從Amtech Systems，Inc.(“本公司”)的董事會(“董事會”)退休、退休後公司將向您支付的款項、此後您在公司中的角色，以及雙方終止您的僱傭協議。本書面協議(“協議”)的目的是闡明與上述條款有關的條款，並取得您的同意。

自閣下籤署本協議(“生效日期”)起生效，本公司與閣下各自同意，本公司與閣下於2012年2月9日訂立的第二份經修訂及重新訂立的僱傭協議(“僱傭協議”)於此終止，不再具有任何效力或效力。本公司和您同意，自2023年12月31日(“分居日”)起，您在本公司的僱傭關係將自動終止。

在生效日期至離職日期之間的期間(“過渡期”)，您仍將全職受僱於本公司。公司將聘用你擔任併購支持職務，向公司首席執行官(“首席執行官”)彙報工作。您在這一角色中的職責將由首席執行官不時決定並由其酌情決定。你將獲得每年100,000美元的基本工資，根據公司的工資慣例支付。在此過渡期內，您將按照公司政策為您提供與公司其他員工相同的員工福利。根據任何基本計劃文件或適用法律的條款，公司保留隨時修改或終止任何員工福利計劃、實踐或計劃的權利。如果您在離職日期之前被無故解僱，您有權在該離職日期至離職日期期間領取上述基本工資，並根據公司的正常工資支付

[****]=[機密部分已被省略，因為IT(I)不是實質性的，並且(Ii)如果公開披露會對競爭有害

練習。就本協議而言，“因由”一詞的含義應與“僱傭協議”中的定義相同，如下所述，以便於參考：“因由”指(I)您故意、反覆或疏忽地不履行本協議項下的職責，不遵守由首席執行官或其代表發出的任何合理或適當的指示，並在發出書面通知後二十(20)天內繼續不遵守，(Ii)您在公司場所或其他地方犯有嚴重不當行為，無論您是否在履行職責期間，合理地可能對公司聲譽造成重大損害，或使您更難以令人滿意地繼續履行職責，並在發出書面通知後二十(20)天內繼續或第二次發生此類嚴重不當行為；(Iii)您在刑事法庭被裁定犯有任何性質的罪行，而該罪行的性質如繼續受僱於本公司，可能會對本公司的聲譽造成重大不利影響或對本公司的利益造成重大損害；或(Iv)您犯下任何涉及本公司或其業務的欺詐或盜竊行為，或任何針對本公司的蓄意侵權行為。儘管有上述規定，“因由”只有在董事會正式通過的決議下才被視為存在，該決議是在正式通知的會議上確定的，在該會議上，您和您的律師首次有機會就該決定向董事會發言。

您同意並承認，自離職之日起，您不得以公司員工、代理人或授權代表的身份，代表公司談判或簽訂任何協議，或以其他方式試圖約束公司。

在離職日期之後延長您的僱傭期限，或在此之後聘用您為本公司的顧問，這兩種情況均須經董事會審查和批准。任何諮詢安排的條款均須經貴公司和貴公司雙方同意。

[****]。雖然您在公司的工作可能會持續到離職之日，但您同意自願從董事會退休，自2022年12月31日亞利桑那州時間結束時起生效。

當您從董事會退休時，(A)公司將向您支付相當於400,000.00美元的一次性付款，以表彰您的服務，這筆款項將受到法律規定的適用扣減，並將在您從董事會退休時支付(即，2022年12月31日)，以及(B)您將有資格獲得額外的獎勵補償，金額取決於[****]。如果[****]，公司將向您一次性支付相當於50%(50%)[****]，以200,000.00美元為上限，這筆付款將受到法律規定的適用扣減的限制，並將在後六十(60)天內支付[****].

作為支付上文討論的400,000.00美元的交換條件，並作為收到任何此類付款的條件，您同意不遲於2022年12月31日簽署協議，並且不撤銷本文件所附的針對公司和任何母公司、子公司、附屬公司或其他關聯方的任何和所有索賠，這些索賠涉及因您的

[****]=[機密部分已被省略，因為IT(I)不是實質性的，並且(Ii)如果公開披露會對競爭有害]

僱用或終止僱用(“解除”)。如果您出於任何原因沒有執行或撤銷免責聲明，您無權獲得本段討論的任何部分的補償，您還承認並同意您對未來任何此類金額的權利將被喪失。

您和公司同意對本協議的條款保密，前提是您和公司可以向各自的律師、會計師和顧問披露本協議的條款，並在必要時遵守任何法律要求，包括但不限於美國證券交易委員會要求的任何納税報告義務或披露義務。您和公司同意通知他們的顧問，他們必須同樣同意對本協議的細節保密。

本協議應根據亞利桑那州的國內法律進行管理和解釋，不得適用法律選擇或法律原則衝突。本協議項下產生的所有爭議應僅在亞利桑那州馬里科帕縣的州或聯邦法院解決，您和公司不可撤銷地同意該法院的管轄權和地點。

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本豁免及解除協議(下稱“解除協議”)由J.S.Wang(“僱員”)與Amtech Systems，Inc.(“本公司”)簽訂。此處使用但未定義的大寫術語應具有本協議(定義如下)中賦予它們的含義。

鑑於，員工已與公司簽訂了附加本新聞稿的書面協議(“協議”)，根據該協議，員工有資格獲得與金斯敦應收賬款有關的激勵性薪酬(如協議中所定義)，部分條件是員工執行本新聞稿；以及

鑑於，為了促使公司簽訂協議，員工已同意簽署和交付本新聞稿，因此，公司和員工(統稱“各方”)希望簽署本新聞稿。

因此，考慮到本協議所載的相互協議和承諾以及其他良好和有價值的對價，雙方特此同意如下：

全面釋放索賠。作為對金斯敦應收激勵薪酬的交換，員工代表自己和他的繼承人、法定代表人、繼承人和受讓人，放棄和放棄(即放棄)所有已知和未知的索賠，這些索賠是在員工簽署本新聞稿之日之前發生的，針對公司、母公司、子公司和關聯公司，以及他們各自過去、現在和未來的高級管理人員、董事、經理、管理成員、合夥人、普通合夥人、有限合夥人、董事、成員、受託人、股東、代表、員工、負責人、代理人、關聯公司，母公司、子公司、合資企業、前任、繼承人、受讓人、受益人、繼承人、遺囑執行人、個人或法定代表人、保險公司和其中任何一方的律師(每一方均為“被釋放方”，統稱為“被釋放方”)。例如，但不限於，員工將被解僱的當事人從以下位置釋放：

任何和所有違反合同的明示和默示的索賠，違反誠信和公平交易的契約，報復索賠，包括但不限於工人賠償報復索賠，約定的禁止反言，欺詐性的，疏忽的或故意造成精神痛苦的索賠，疏忽或故意的失實陳述，疏忽或故意幹擾合同或預期的經濟利益，不公平的商業行為，誹謗，疏忽，人身傷害，攻擊，毆打，侵犯隱私，虛假監禁，轉換，以及任何其他關於侵權或不當待遇的索賠；

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《1964年法案》，經修正的《1964年法案》(第42 U.S.C.§§2000 e及其後)；《1991年民權法案》，經修訂的；《1866年民權法案》第1981和1983節，經修訂的《1866年民權法案》(42 U.S.C.§1981,1983)；1967年《就業方面的年齡歧視法案》，經修訂的《美國聯邦法典》第29篇，第621節及以後各節；1990年《美國殘疾人法》，經修訂的《美國殘疾人法》(《美國聯邦法典》)，經修訂的《美國殘疾人法》(第42 U.S.C.§§12101 et seq.)；經修訂的1973年《康復法》(第29篇《美國法典》第701節及以後)；2008年《遺傳信息非歧視法》，經修訂(第42篇《美國法典》第2000節)；1974年《僱員退休收入保障法》，經修訂(第29篇《美國法典》第1001節及以後)；1994年《統一服務業就業和再就業權利法》，經修訂，(第38篇《美國聯邦法典》第4301節及以後)；經修訂的《1974年越南時代退伍軍人調整援助法》(《越戰時期退伍軍人調整援助法》)(《美國法典》第38編第4211節及其後)；11246號行政命令，經修訂的2002年《薩班斯-奧克斯利法案》；1993年《家庭和醫療休假法》，經修訂(《美國法典》第29編第2601節及以後)；經修訂的《國家勞動關係法》(《美國法典》第29編第151節及其後)、《工人調整和再培訓通知法》(《警告》)，經修訂(《美國法典》第29編第2101節及其後)以及任何類似的州或地方工廠關閉法，經修訂的1963年《同工同酬法》(《美國聯邦法典》第29篇，第206(D)節)；《虛假申報法》，經修訂的《虛假申報法》(《美國聯邦法典》第31篇，第3729節及其後)；以及任何其他可以免除的工資和工時索賠；亞利桑那州的法規、法律、條例、法規或普通法，包括但不限於亞利桑那州工資法、亞利桑那州同工資法、亞利桑那州就業保護法、亞利桑那州民權法案、亞利桑那州職業健康和安全法、亞利桑那州工作權法律、亞利桑那州僱員藥物測試法、亞利桑那州醫用大麻法、亞利桑那州基因測試法, 《亞利桑那州刑法》，全部經修訂，包括其實施條例；

未知的索賠。此版本擴展到員工現在可能擁有的所有索賠，即使是目前未知的索賠。僱員明白，在簽署本新聞稿後，他可能會發現與他現在知道或相信存在的索賠或事實不同或不同的索賠或事實，並且如果在簽訂本新聞稿時已知或懷疑這些索賠或事實，可能會對本新聞稿或其簽署決定產生重大影響。儘管如此，本新聞稿中的放棄和免除應在所有方面保持有效，無論是否有任何不同或附加的事實。

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根據適用的工人補償法規或政府提供的失業救濟金；以及(C)聲稱法律不允許員工通過簽署本新聞稿而放棄。此外，本新聞稿中的任何內容都不禁止或阻止員工向美國平等就業機會委員會(“EEOC”)或州或地方公平就業做法機構提出指控，或參與、作證或協助任何調查、聽證或其他程序，但員工不得就他或其他人代表他提出的任何此類索賠、指控或程序追回任何金錢利益或其他救濟。最後，本新聞稿中的任何內容不得被解釋為放棄員工執行本新聞稿中任何條款的權利或根據ADEA質疑本新聞稿的有效性。

同意不去蘇。僱員聲明並同意，他沒有向任何聯邦、州或地方機構或法院提起針對被釋放方的任何投訴、指控、索賠、訴訟或訴訟(統稱為“訴訟”)。除第2款和第3款另有規定外，員工表示並同意：(A)他不會在任何時間就他在本新聞稿中釋放的任何索賠提起任何訴訟；以及(B)如果員工提起訴訟，聲稱他在本新聞稿中釋放的任何索賠，他理解並同意被釋放的各方將有權向他追回律師費、其他辯護費以及他的訴訟或訴訟造成的任何其他損害賠償(視情況而定)。本新聞稿中沒有任何內容阻止員工向任何政府機構報告可能違反適用法律的行為，或向有管轄權的法院、行政機構或調查機構提供真實信息。

申述。作為本新聞稿的一部分，Employee表示並同意：(A)他沒有將本新聞稿中描述的任何索賠轉讓或轉移給任何第三方；(B)他沒有遭受任何與工作有關的錯誤或傷害，他未來仍有權獲得賠償或救濟；(C)他不知道或已經向公司披露了被解約方的任何被指控的不當或不當行為；(D)他完全遵守了員工在公司政策下的義務以及員工與公司之間關於保密和/或知識產權的任何協議；(E)他已經正確地報告了他的所有工作時間(如果適用)；以及(F)他已經獲得了在該員工簽署本新聞稿之日之前公司應向他支付的所有工資、加班費、佣金、補償、福利和其他金額。

可分性。法院裁定本新聞稿的任何條款無效、非法或不可執行，不應影響本新聞稿的任何其他條款的有效性、合法性或可執行性。此外，如果本新聞稿中包含的任何條款被發現無效、非法或不可執行，雙方同意應修改該無效、非法或不可執行的條款，並以在允許的範圍內實現基本相同的實際或經濟效果且有效和可執行的新條款取而代之。

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11.

第409A條。本新聞稿和在本新聞稿下提供的付款和福利旨在遵守或以其他方式免除修訂後的1986年《國税法》第409a節的要求，並應按照與該意圖一致的方式進行解釋、解釋和管理。根據本新聞稿進行的任何付款將被視為單獨付款，根據本新聞稿獲得一系列分期付款的權利將被視為獲得一系列單獨付款的權利。如果僱員是“特定僱員”(第409a條所指)，根據第409a條被視為非合格遞延補償的任何付款或福利，以及因僱員“離職”(第409a條所指)而應支付或提供的任何款項或福利，在本句子所述的最早日期之前支付或提供的，應改為延期、累計並一次性支付，或在(I)僱員離職後7個月的第一天或(Ii)僱員死亡之日中最早的一天支付或提供。

考慮期限。員工明白，他可以從獲得本新聞稿之日起最多21個日曆日內決定是否簽署本新聞稿(“考慮期限”)，並且他已被給予至少21個日曆日來考慮本新聞稿的實際條款並諮詢員工選擇的律師。員工進一步瞭解，對此版本的更改，無論是實質性的還是非實質性的，都不會重新開始21天期限的運行。員工明白，要獲得金斯敦應收獎勵薪酬，他必須將這份簽署的新聞稿交付給公司，並將其發送到下列人員和地址，以便公司在對價期限屆滿時或之前收到該新聞稿。如果僱員在對價期限屆滿前自願簽署免責聲明，他同意放棄對價期限的剩餘部分。員工理解，如果他沒有在考慮期滿之前簽署免責聲明，那麼這份免責聲明將被自動撤回、撤銷和

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