美國

美國證券交易委員會

華盛頓特區，20549

表單SD

專業披露報告

MKS 儀器公司

(註冊人的確切姓名，載於其章程中)

馬薩諸塞州		000-23621		04-2277512
(述明或其他司法管轄權 公司或組織)		(佣金) 文件編號)		(美國國税局僱主 識別號碼)
馬薩諸塞州安多佛市科技大道2號201室				01810
(主要執行辦公室地址)				(郵政編碼)

凱瑟琳·F·伯克(978)645-5574

(與本報告有關的聯繫人的姓名和電話號碼，包括區號。)

勾選相應的框以指明提交此表格所依據的規則，並提供此表格中的信息適用的期限 ：

《證券交易法》(17 CFR 240.13P-1)關於2021年1月1日至12月31日報告期的第13P-1條規則。

第一節衝突礦物披露

項目1.01衝突礦物的披露和報告

衝突礦產資源披露

MKS儀器公司(或MKS公司)已確定，金、錫石和黑鎢礦及其衍生品、鉭、錫和鎢(衝突礦物)對於MKS製造或承包製造的產品的功能或生產是必要的。

MKS真誠地對其產品中的衝突礦物進行了原產國調查 ，調查的合理設計旨在確定是否有任何衝突礦物起源於剛果民主共和國或鄰國(涵蓋的國家)，或來自回收或 廢料來源。

MKS已確定需要提交併已提交一份Conflicent Minerals報告，説明其合理的原產國 對其產品中Conflicent Minerals的來源和保管鏈進行的調查和盡職調查工作。衝突礦產報告作為本表格SD的附件1.01提供，並可在MKS的網站上公開獲取，網址為http://www.mksinst.com/docs/ur/MKS-ConflictMineralsReport.pdf.

第1.02項演示文稿

截至2021年12月31日的歷年MKS衝突礦產報告作為本表格SD的附件1.01存檔。

第二節展品

第2.01條 展品

展品 數		描述
1.01		本表格第1.01和1.02項所要求的衝突礦物報告

簽名

根據1934年《證券交易法》的要求，註冊人已正式促使本報告由正式授權的以下籤署人代表其簽署。

MKS儀器公司
凱瑟琳·F·伯克						May 26, 2022
凱瑟琳·F·伯克
高級副總裁、總法律顧問兼祕書