附件1.01

Axcelis Technologies，Inc.衝突礦產報告

期間完成製造的產品

截至2021年12月31日的年度

本衝突礦物報告由Axcelis Technologies，Inc.(“本公司”)作為證物提交，以形成SD 。如表格SD所示，回覆公司合理原產地查詢調查的70家供應商(佔所有供應商回覆2021年銷售額的24%)表示，他們知道或有理由相信公司的一個或多個產品(定義見下文) 原產於剛果民主共和國或鄰近國家，並非來自回收或廢料來源。

盡職調查

Axcelis已在2021年1月1日至2021年12月31日期間，根據本公司與本公司簽訂的合同(“本公司的產品”)，對以下所述產品的功能或生產所需的某些金、錫、鉭和鎢的來源和託管鏈進行了盡職調查(“本公司的產品”)，該規則在2021年1月1日至2021年12月31日期間由本公司根據經修訂的《1934年證券交易法》下的規則13P-1界定。本公司的盡職調查符合經濟合作與發展組織(以下簡稱經合組織)的《錫、鉭、鎢問題補編》和《礦產供應鏈基於風險的盡職調查五步框架》的《黃金問題補編》。衝突影響和高風險地區礦產負責任供應鏈盡職調查指南，第二版。

經濟合作與發展組織將盡職調查定義為持續的、積極主動的和被動的過程，通過這一過程，公司可以確保他們尊重人權，不會助長衝突。作為盡職調查的一部分，我們採取了以下措施：

採購政策。我們在2012年採用了無衝突採購政策，並將其發佈在我們的互聯網供應商門户網站上。我們還與供應商就政策的內容進行了直接溝通，其中規定：

Axcelis希望其供應商僅從對環境和社會負責的來源採購材料。具體地説，Axcelis將不支持其供應鏈中的任何供應商或其他實體開採或運輸礦物(包括錫、鉭、鎢或黃金)，並利用由此產生的財政或其他資源為剛果民主共和國或任何其他國家的衝突提供資金或以其他方式加劇衝突。Axcelis認真對待這些公司開採或運輸的一些金屬可能進入一般行業供應鏈的指控，以及這些業務的利潤可能會導致侵犯人權的行為。

“Axcelis支持開發可獨立驗證的供應鏈交易，確保材料來自對環境和社會負責任的來源。Axcelis致力於在現有系統和實踐的基礎上構建，以確保我們的供應商符合這些期望。Axcelis希望其供應商遵守這一政策。

衝突礦業隊。從2013年開始，公司組建了一個團隊，由我們的供應鏈管理、環境、健康和安全管理部門的代表和我們的總法律顧問組成，專注於衝突礦物。

風險識別和評估。衝突礦產小組審查了該規則、與該規則相關的通過新聞稿和委員會的常見問題。我們學習了我們的行業組織為解決盡職調查所做的努力，包括負責任的礦產倡議(RMI)，該倡議是由負責任的商業聯盟(前身為電子行業公民聯盟)和全球電子可持續發展倡議於2008年創立的。RMI(以前稱為無衝突採購計劃)發佈衝突礦產報告模板，並管理負責任的礦產保障流程，這是一個獨立的第三方審計，可確定哪些冶煉廠和精煉廠可以被核實為具有符合當前全球標準負責任地採購礦產的系統。¹ 衝突礦產團隊隨後制定了一份合理的原產國調查，如我們的表格SD中所述，該調查使我們能夠識別存在從剛果民主共和國或鄰國採購的風險的供應商。我們讓與通過調查被確定為風險的供應商進行進一步溝通和評估，包括審查提交給我們的文件，如供應商採購政策、RMI衝突礦產報告模板和其他材料。

獨立的私營部門審計

根據美國證券交易委員會於二零一四年四月二十九日發表的聲明，本公司並未根據根據規則頒佈的表格SD第1.01(C)(1)(Ii)項的規定，取得本衝突礦產報告的獨立私營部門審核(“IPSA”)。該聲明提供了將不需要IPSA，除非公司自願選擇在其衝突礦物報告中將產品描述為“DRC無衝突”。由於我們沒有將我們的產品描述為“剛果民主共和國無衝突”，因此我們沒有獲得IPSA。

降低風險的步驟

在截至2022年12月31日的日曆年的報告期內，我們將繼續開展上述“盡職調查”活動。此外，在努力為我們的產品實現無衝突供應鏈的過程中，我們打算繼續聯繫我們的供應商，鼓勵他們和我們供應鏈中的冶煉廠/精煉廠參與根據RMI的負責任礦產保障流程和全球電子可持續發展計劃制定的無衝突認證計劃。

¹本公司作為一家規模較小的半導體設備製造公司，依賴於RMI和其他電子行業組織，正如OECD所設想的那樣受衝突影響和高風險地區負責任的礦產供應鏈盡職調查指南，第二版。具體地説，本公司注意到《錫鉭鎢副刊》C5節對OECD礦產供應鏈基於風險的盡職調查的五步框架的以下意見：“由於其規模或其他因素，可能難以確定其直接供應商上游的參與者的公司可以與與其共享供應商的行業成員或與其有業務關係的下游公司積極合作，以確定供應鏈中有哪些冶煉廠。”

產品説明

關於公司已進行盡職調查的公司產品，下表描述了公司的產品、用於在該等產品中加工所需衝突礦物的設施(如已知)、所需衝突礦物的原產國(如已知)以及為確定這些產品的礦場或原產地所作的努力。

產品主題説明進行盡職調查	用於加工的設施該地區的衝突礦物產品	國家/地區起源於衝突礦物	努力確定礦場或原產地
該公司銷售的半導體加工離子注入設備的零部件涵蓋32家供應商的回覆。	這些供應商稱，所有來自剛果民主共和國和鄰國的衝突礦物都來自符合RMAP標準的冶煉廠和精煉廠。²或iTSCi消息來源。³	未知	收到已完成的RMI衝突礦產報告模板。

本公司銷售的半導體加工離子注入設備的零部件，從38家供應商採購。	這些供應商表示，來自剛果民主共和國和毗鄰國家的部分或全部衝突礦物並非來自符合RMAP標準的冶煉廠和精煉廠或iTSCi來源。	未知	與供應商的持續溝通，包括提醒公司的採購政策，並要求供應商努力確保所使用的所有冶煉廠/精煉廠符合RMAP或iTSCi來源。公司將要求供應商確認他們何時使用RMAP Conformant冶煉廠或iTSCi來源，如果供應商沒有提供此類確認，公司將不時考慮不同的零部件來源。

²符合RMAP標準的冶煉廠和精煉廠是符合RMI發佈的負責任礦物保證過程評估規程的冶煉廠和精煉廠。這些協議用於確定可以驗證哪些冶煉廠和精煉廠擁有符合當前全球標準負責任地獲取礦物的系統。

³ITSCi來源是錫的來源，這些來源被全球錫業協會ITRI認證為無衝突。