美國
證券交易委員會

華盛頓特區，20549

表格SD

專業披露報告

Axcelis技術公司

(註冊人的確切姓名載於其章程)

Lynnette C.Fallon，執行副總裁兼總法律顧問，電話：978-787-4120

(姓名和電話號碼，包括區號，與本報告有關的聯繫人的姓名和電話號碼。)

選中相應的框以指明此表格的歸檔規則，並提供此表格中的信息適用的期限：

《證券交易法》(17 CFR 240.13P-1)規定的2021年1月1日至 12月31日報告期的規則13P-1。

第1節--衝突礦產的披露

項目1.01衝突礦物的披露和報告

A)產品中的衝突礦物。

衝突礦物，如表SD第1.01項所定義，對於Axcelis Technologies，Inc.(“Axcelis”或“公司”)製造的產品或本公司根據1934年《證券交易法》(經修訂)(“本規則”)第13P-1條所界定的合同製造的產品(“本公司的產品”)的功能或生產而言是必要的 ，且其製造已於2021年1月1日至2021年12月31日期間完成。因此，根據規則的要求，我們將本報告所涵蓋的歷年的SD表格歸檔。

B)我們合理原產國的執行情況和結果 調查.

本公司真誠地進行了合理的原產國調查(“RCOI”)，該調查旨在合理地確定本公司產品中的任何衝突礦物 是否源自剛果民主共和國或鄰近國家，或來自回收或廢料來源。要實施RCOI，請執行以下操作：

1. 從2012年開始，我們向供應商傳達了公司的採購政策和承諾；

2. 從2013年開始，我們對供應商進行了關於衝突礦物報告義務的教育；

3. 自2014年以來，我們每年都對上一個日曆年進行RCOI和相關盡職調查；

4. 對於2021年的RCOI，我們從2021年3月31日開始向2021年材料供應商索取信息，使用的是關於他們向我們出售的部件的礦物含量的在線調查，他們對任何衝突礦物來源的瞭解， 包括衝突礦物是來自回收來源還是廢料來源(“調查”)；這一收集一直持續到2022年5月16日(包括通過電子郵件和/或電話進行跟進)。

調查已發送給1,097家供應商，這些供應商的材料包括在該公司的產品中。我們收到了來自305個不同供應商地點的對調查的答覆和其他答覆，其中15個表示他們沒有2021年的銷售額，因此淨290個供應商地點的2021年銷售額。答覆包括電子郵件、信函、適用政策的副本 以及由負責任的商業聯盟的負責任礦產倡議(前身為電子行業公民聯盟的無衝突採購倡議)發佈的完整的衝突礦產報告模板。對所有這些答覆進行了審查和分類。在此過程結束時，我們收到了產品中包含的零部件供應商的回覆，佔2021年本公司產品材料總支出的84.5%。

截至2022年5月16日，186份2021年銷售額的供應商回覆 (佔所有此類供應商回覆的64%)聲稱：

(A)供應商出售給公司的材料中不存在衝突礦物；或

(B)供應商出售給公司的材料中的衝突礦物不是來自剛果民主共和國或鄰國，或者供應商沒有理由相信出售給公司的材料中的衝突礦物可能來自剛果民主共和國或鄰國；或

(C)出售給本公司的 材料中的衝突礦物來自回收或廢棄來源。

同樣，截至2022年5月16日，儘管我們努力獲取明確的 信息，但仍有34家回覆供應商沒有提供足夠的清晰度來確定他們是否可以被歸入上述類別。

(C)對具體的衝突礦源進行盡職調查。70家作出迴應的供應商(佔所有作出迴應的供應商的24%，銷售額為 2021年)表示：(1)出售給本公司的材料中含有一種或多種衝突礦物，(2)他們 知道或有理由相信該等衝突礦物原產於剛果民主共和國或鄰國，且 並非來自回收或廢料來源。因此，我們對這些衝突礦物的來源和保管鏈進行了盡職調查，符合經濟合作與發展組織(OECD)框架：OECD(2013)、OECD關於受衝突影響和高風險地區的礦產負責任供應鏈的盡職調查指南《錫、鉭和鎢補充協議》和《黃金補充協議》：第二版。本公司已就這些衝突礦物提交了衝突礦物報告。

本SD表和衝突礦產報告已在我們的公開互聯網網站axcelis.com上披露，標題為“衝突礦產披露”，鏈接 此處：https://www.axcelis.com/about/corporate-responsibility/

項目1.02。展品

根據1934年證券交易法的規則13P-1，Axcelis將1.01項要求的衝突礦產報告作為證據提交給本表格SD。

第二節--展品

第2.01項展品

以下附件作為本報告的一部分提交

附件1.01--本表格第1.01和1.02項所要求的衝突礦物報告。

簽名

根據1934年《證券交易法》的要求，註冊人已正式促使本報告由正式授權的以下籤署人代表其簽署。