附件32.1

Amtech Systems，Inc.及其子公司

根據以下條件進行認證

《美國法典》第18編第1350條，

根據以下規定通過

2002年薩班斯-奧克斯利法案第906節

關於Amtech Systems，Inc.(“公司”)截至2022年3月31日向美國證券交易委員會提交的截至2022年3月31日的10-Q表格季度報告(“報告”)，本人，公司首席執行官Michael Wang，依照美國法典第18編第1350條，根據2002年薩班斯-奧克斯利法案第906條的規定，證明：

上述證明是根據《美國法典》第18編第1350條提供的。它不是為了1934年修訂的證券交易法第18條的目的而提交的，也不會通過引用將其納入公司的任何文件中，無論該文件中的任何一般公司語言如何。