附件32.1

依據《美國法典》第18編第1350條對行政總裁的證明，

根據以下規定通過

2002年薩班斯-奧克斯利法案第906節

本人，Michael P.Plisinski，根據2002年《薩班斯-奧克斯利法案》第906節通過的《美國法典第18編第1350條》，證明Onto Innovation Inc.截至2022年4月2日的Form 10-Q季度報告完全符合1934年《證券交易法》第13(A)或15(D)節的要求，並且Form 10-Q季度報告中包含的信息在所有重大方面都公平地反映了Onto Innovation Inc.的財務狀況和經營結果。

日期：2022年5月3日