附件23.1

獨立註冊會計師事務所同意

我們同意在《CVD設備公司註冊説明書》中引用註冊在我們於2022年3月31日提交的報告表格S-8(第333-138903、第333-153186和第333-217439號文件)中，我們對CVD Equipment Corporation及其子公司截至2021年12月31日和2020年12月31日的綜合財務報表以及截至2021年12月31日的兩個年度的綜合財務報表進行了審計，該報告包含在本CVD Equipment Corporation截至2021年12月31日的Form 10-K年度報告中。

/s/Marcum LLP

馬庫姆律師事務所

紐約州梅爾維爾

March 31, 2022