附件23.1

獨立註冊會計師事務所的同意

我們同意在以下注冊聲明中引用註冊成立：

(1)	高級能源工業公司的註冊聲明(表格S-3第333-167027號、第333-110534號、第333-87459號和第333-34039號)，以及

(2)	Registration Statements (Form S-8 Nos. 333-221376; 333-168519; 333-167741; 333-152865; 333-129858; 333-105367; 333-87718; 333-69150; 333-69148; 333-62760; 333-79429; 333-79425; 333-65413; 333-57233; 333-46705; 333-04073; and 333-01616) of Advanced Energy Industries, Inc.

在我們2022年3月16日的報告中，關於Advanced Energy Industries，Inc.的合併財務報表以及Advanced Energy Industries，Inc.截至2021年12月31日的年度報告(Form 10-K)中包含的Advanced Energy Industries，Inc.財務報告的內部控制有效性。

/S/安永律師事務所

科羅拉多州丹佛市

March 16, 2022