附件21.1

超淨控股公司

附屬公司名單

Ultra Clean Technology Systems and Service，Inc.(加州公司)

超淨國際控股公司(開曼羣島的一家公司)

超淨微電子設備(上海)有限公司(中國公司)

超淨太平洋控股有限公司(新加坡公司)

超淨技術(馬來西亞)SDN。巴德.(一家馬來西亞公司)

遠東國際控股有限公司(香港公司)

超淨亞太私人有限公司(一家新加坡公司)

美國集成技術有限責任公司(特拉華州一家有限責任公司)

集成流系統有限責任公司(一家加州有限責任公司)

UCT熱解決方案公司(特拉華州一家公司)

Dash收購子公司LLC(特拉華州一家有限責任公司)

UCT流體輸送解決方案公司s.r.o(捷克公司)

量子全球技術有限責任公司(特拉華州一家有限責任公司)

QuantumClean Technologies(S)私人有限公司有限公司(一家新加坡公司)

QuantumClean Global-以色列有限公司(一家以色列公司)

QuantumClean Global Technologies愛爾蘭有限公司(一家愛爾蘭公司)

量子全球技術控股公司(特拉華州一家有限責任公司)

量子環球科技韓國有限公司(一家韓國公司)

Cinos Co.，Ltd.(韓國公司)

奇諾斯西安清潔技術有限公司(一家中國公司)

臺南量子科技有限公司(臺資公司)

Daibus爵士有限公司(一家以色列公司)

Ham-let(以色列-加拿大)有限公司(一家以色列公司)

S&S閥門有限公司(韓國公司)

Ham-let CFS Ltd.(一家英國公司)

CFS GmbH(一家德國公司)

諾瓦茨公司(一家挪威公司)

HTC有限公司(以色列公司)

UCT孵化器有限公司(以色列公司)

Astava International B.V.(一家荷蘭公司)

Astava B.V.(一家荷蘭公司)

Ham-let GmbH(一家德國公司)

波爾卡斯(Polkas Sp.)Z.O.O.(一家波蘭公司)

火腿-讓俄羅斯有限責任公司(一家俄羅斯公司)

火腿-讓法國(一家法國公司)

火腿-讓美國公司(德克薩斯州的一家公司)

Ham-let新加坡閥門及配件有限公司(一家新加坡公司)

羅瓦克私人有限公司(一家新加坡公司)

Ham-let(加拿大)配件及閥門公司(加拿大公司)

Ham-let Motoyama日本株式會社(日本公司)

Ham-let Benelux B.V.(一家荷蘭公司)

江蘇星河閥門有限公司(中國企業)

上海火腿貿易有限公司(一家中國公司)

Ham-let(泰國)有限公司(泰國一家公司)

Ham-let(UK)管件閥門有限公司(一家英國公司)