附件32.1

根據以下條件進行認證

“美國法典”第18編第1350條,

根據

2002年薩班斯-奧克斯利法案第906節

關於Veeco Instruments Inc.(以下簡稱“公司”)於本報告日期向美國證券交易委員會提交的截至2021年12月31日的Form 10-K年度報告(以下簡稱“報告”),我,公司首席執行官William J.Miller,Ph.D.,根據2002年薩班斯-奧克斯利法案(Sarbanes-Oxley Act)第906節通過的“美國法典”第18 U.S.C.第1350條,證明:

(1)該報告完全符合1934年證券交易法第13(A)或15(D)節的要求;以及

(2)報告中包含的信息在所有重要方面都公平地反映了公司的財務狀況和經營結果。

威廉·J·米勒博士

威廉·J·米勒博士

董事首席執行官兼首席執行官

Veeco Instruments Inc.

2022年2月18日

根據第906條的要求,本書面聲明的簽名原件已提供給Veeco Instruments Inc.,並將由Veeco Instruments Inc.保留,並應要求提供給證券交易委員會或其工作人員。