附件23.1
獨立註冊會計師事務所的同意書
Veeco Instruments Inc.董事會：
我們同意將關於Veeco Instruments Inc.的綜合財務報表和財務報表附表II-估值和合格賬户以及財務報告內部控制的有效性的報告通過引用納入下面列出的2022年2月18日報告的註冊表中。
註冊編號 |
| 表格 |
| 平面圖 |
333-166852 | | S-8 | | Veeco Instruments Inc.2010年股票激勵計劃 |
333-194737 | | S-8 | | Veeco Instruments Inc.2010股票激勵計劃、Veeco Instruments Inc.2013激勵股票激勵計劃 |
333-211781 | | S-8 | | Veeco Instruments Inc.修訂並重新修訂了2010年股票激勵計劃、Veeco Instruments Inc.2016員工股票購買計劃 |
333-218256 | | S-8 | | UltraTech，Inc.1993年股票期權/股票發行計劃(經修訂和重述)2017年5月31日 |
333-231266 | | S-8 | | Veeco Instruments Inc.2019年股票激勵計劃；Veeco Instruments Inc.2016年員工股票購買計劃第一修正案 |
333-242450 | | S-3 | | Veeco Instruments Inc.貨架註冊聲明 |
333-256004 | | S-8 | | Veeco Instruments Inc.2016年員工股票購買計劃第二修正案 |
/s/畢馬威會計師事務所
梅爾維爾，紐約
2022年2月18日