附件21.1

註冊人的子公司

截至2021年12月31日

子公司

    

組織的司法管轄權

    

所有權百分比(A)

美國子公司

UltraTech International Inc.

100%

Veeco亞太有限責任公司

100%

Veeco過程設備公司

100%

外國子公司

維科亞洲私人有限公司(Veeco Asia Pte.)LTD.

新加坡

100%

Veeco GmbH

德國

100%

維科儀器有限公司

英國

100%

維科儀器(上海)有限公司

中國

100%

Veeco日本有限公司

日本

100%

Veeco韓國有限責任公司

韓國

100%

Veeco Malaysia Sdn.巴赫德。

馬來西亞

100%

Veeco荷蘭分公司

荷蘭

100%

Veeco臺灣公司

臺灣

100%

以色列Ultr-Tech Technologies有限公司。

以色列

100%


(A)包括直接所有權和間接所有權。