附件16.1

2021年11月19日

證券交易委員會

東北大街100號F

華盛頓特區，20549

委員：

我們已經閲讀了Amtech Systems，Inc.日期為2021年11月19日的8-K表格中的第4.01項，我們同意第4.01項中所述的與我公司有關的陳述。對於所有其他事項，我們沒有理由同意或不同意註冊人的聲明。

非常真誠地屬於你，

/s/邁耶·霍夫曼·麥肯(Mayer Hoffman McCann P.C.)

亞利桑那州鳳凰城