附件3.1

Amtech Systems，Inc.

第一修正案

至

修訂及重述附例

(2021年11月16日生效)

日期為2021年11月16日的亞利桑那州公司Amtech Systems，Inc.修訂和重述的章程(下稱“修訂”)的第一次修訂是對本公司修訂和重訂的章程(下稱“章程”)進行修訂，如下所述。

“第3.2節。特別會議。除法律另有規定外，為任何目的召開的股東特別大會可由本公司的董事會主席或行政總裁召開，並應過半數董事會成員或一名或多名本公司股票股份的記錄持有人的書面要求，由董事會主席或祕書召開，該等股東大會合計不少於有權就擬提交建議的特別會議表決的一項或多項股票股份總數的百分之三十五(35%)，而董事會主席或祕書應以書面要求召開股東特別大會，而該等股東大會須由董事會主席或祕書以書面要求召開，或由一名或多名持有本公司股票股份的記錄持有人以書面提出，總數不少於有權就擬議特別會議提出的一項或多項事宜表決的股票股份總數的百分之三十五(35%)。股東召開特別大會的要求須送交祕書，並須由要求召開特別會議的每名股東或該股東的正式授權代理人簽署，並須附有一份通告，列明本附例第3.9節或第4.2節(視何者適用而定)所規定的有關擬於該特別大會上提交的任何提名及建議處理的任何其他事務以及要求召開特別大會的股東的資料。股東要求召開的特別會議應在董事會指定的日期、時間和地點舉行(包括通過遠程通信)，但任何該等特別會議的日期不得超過祕書收到一名或多名符合第3.2節要求的股東要求召開特別會議的日期後九十(90)天。儘管有上述規定，在下列情況下，股東要求召開的特別會議不得舉行：(一)根據適用法律，將提交特別會議的陳述事項不是股東訴訟的適當標的, (Ii)提出要求的股東未能遵守交易所法案及其規則及規例的適用要求，或(Iii)董事會已召集或要求在祕書收到股東特別會議要求後九十(90)天內召開股東周年大會，董事會真誠地決定該年度會議的事務包括(及任何其他在股東周年大會前適當提出的事項)股東請求所指定的事務。(Iii)董事會在收到股東特別會議要求後九十(90)天內召開或要求召開股東周年大會，而董事會真誠地決定該年度會議的事務包括股東要求所指定的事務(以及任何其他提交股東要求的事項)，或(Iii)董事會已召集或要求在祕書收到特別會議要求後九十(90)天內召開股東周年大會。一個

股東可隨時向祕書遞交書面撤銷申請，以撤銷召開特別大會的要求，而在撤銷申請後，如股東持有的股份總數少於股東有權要求召開特別大會所需的股份數目，則董事會可酌情取消該特別會議。如遞交特別大會要求的股東均無出席或派合資格代表提出擬於特別大會上提出的提名或擬進行的其他業務，本公司無須在該等大會上提出該等提名或其他業務以供表決。在所有特別會議上處理的事務應僅限於特別會議通知中所述的事項。股東要求召開的特別會議上處理的事項，僅限於特別會議要求的事項，但本章程並不禁止董事會在股東要求的任何特別會議上向股東提交事項。特別會議主席須決定與會議進行有關的所有事宜，包括但不限於決定任何提名或其他事務項目是否已按照本附例妥為提交會議，而如主席如此決定並聲明任何提名或其他事務項目並未妥為提交特別會議，則該等事務不得在該特別會議上處理。