附件32.2

Amtech Systems，Inc.及其子公司

根據以下條件進行認證

“美國法典”第18編第1350條，

根據

2002年薩班斯-奧克斯利法案第906節

關於Amtech Systems，Inc.(以下簡稱“公司”)截至2021年9月30日提交給美國證券交易委員會(SEC)的Form 10-K年度報告(以下簡稱“報告”)，我公司副總裁兼首席財務官麗莎·D·吉布斯(Lisa D.Gibbs)根據“美國法典”第18編的規定，特此證明。1350，根據黨衞軍通過。2002年薩班斯-奧克斯利法案(Sarbanes-Oxley Act)的906條：