本人已審閲本Amtech Systems，Inc.(註冊人)的Form 10-K年報；

根據本人所知，本報告並無對重大事實作出任何不真實的陳述，亦無遺漏就本報告所涵蓋的期間作出該等陳述的情況下作出該等陳述所必需的重要事實，而該等陳述並無誤導性；(B)本報告並無就本報告所涵蓋的期間作出任何不真實的陳述或遺漏陳述作出該等陳述所需的重要事實；

據我所知，本報告所包含的財務報表和其他財務信息在各重要方面都公平地反映了註冊人截至本報告所述期間的財務狀況、經營成果和現金流；

註冊人的其他認證人員和我負責為註冊人建立和維護披露控制和程序(如交易法規則13a-15(E)和15d-15(E)所定義)以及對財務報告的內部控制(如交易法規則13a-15(F)和15d-15(F)所定義)，並具有：

設計此類披露控制和程序，或導致此類披露控制和程序在我們的監督下設計，以確保與註冊人(包括其合併子公司)有關的重要信息被這些實體中的其他人知曉，特別是在編寫本報告期間；

設計財務報告內部控制或者在我司監督下設計財務報告內部控制，為財務報告的可靠性和對外財務報表的編制按照公認會計原則提供合理保證；

評估註冊人披露控制和程序的有效性，並在本報告中提出我們基於此類評估得出的截至本報告所涉期間結束時披露控制和程序有效性的結論；以及

在本報告中披露註冊人的財務報告內部控制在註冊人最近一個會計季度(註冊人的年度報告為第四個會計季度)期間發生的任何變化，該變化對註冊人的財務報告內部控制有重大影響，或有合理的可能對其產生重大影響；以及

根據我們對財務報告內部控制的最新評估，我和註冊人的其他認證人員已向註冊人的審計師和註冊人董事會的審計委員會(或履行同等職能的人員)披露：

在財務報告內部控制的設計或操作方面可能會對註冊人記錄、處理、彙總和報告財務信息的能力產生不利影響的所有重大缺陷和重大缺陷；以及

任何欺詐，無論是否重大，涉及管理層或在註冊人的財務報告內部控制中發揮重要作用的其他員工。