附件23.1

獨立註冊會計師事務所的同意

我們同意以引用方式將我們2021年11月17日的報告S-8(第333-09911、333-131051、333-145454、333-168606、333-168607、333-196937、333-196940和333-204431號)中關於Amtech Systems，Inc.截至2021年9月30日和2020年9月30日的合併財務報表以及截至2021年9月30日的三個年度中的每一年的合併財務報表納入本Form 10年度報告中(編號：333-09911、333-131051、333-145454、333-168606、333-168607、333-196937、333-196940和333-204431)