附件：32.1

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根據以下條件進行認證

“美國法典”第18編第1350節，

根據

2002年薩班斯-奧克斯利法案第906節

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關於Veeco Instruments Inc.(以下簡稱“公司”)於本文件日期提交給美國證券交易委員會(SEC)的截至2021年9月30日的Form 10-Q季度報告(以下簡稱“報告”)，公司首席執行官威廉·J·米勒博士根據根據2002年薩班斯-奧克斯利法案(Sarbanes-Oxley Act)第906節通過的第18 U.S.C.第1350節證明：

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(1)

該報告完全符合1934年《證券交易法》第(13)(A)款或第(15)(D)款的要求；以及

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(2)

報告中包含的信息在所有重要方面都公平地反映了公司的財務狀況和經營結果。

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由以下人員提供：

/s/威廉·J·米勒博士

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威廉·J·米勒博士

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首席執行官

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Veeco Instruments Inc.

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2021年11月2日

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根據第906條的要求，本書面聲明的簽字原件已提供給Veeco Instruments Inc.，並將由Veeco Instruments Inc.保留，並應要求提供給美國證券交易委員會(Securities And Exchange Commission)或其工作人員。