附件10.1

第21屆高管激勵計劃

(年度高管獎金)

計劃摘要

本KLA高管激勵計劃(“計劃”)旨在通過為目標業績提供有競爭力的獎金，併為出色業績提供潛在的上行空間，激勵高級管理人員實現短期和長期的公司目標。

計劃期

本計劃自2021年1月1日起至2021年12月31日止的日曆年期間(以下簡稱“計劃期”)有效。新符合條件的員工(例如，根據本計劃首次晉升為符合獎勵條件的職位的員工或新員工)必須在2021年10月1日或之前處於人力資源系統中記錄的符合條件的職位，才有資格參與此計劃期間。

符合條件的職位

KLA Corporation(“本公司”)的首席執行官(“CEO”)以及本公司和指定的公司子公司(見本協議附錄A所確定的)擔任X2或F2級以上職位(統稱為CEO，“高管”)的員工均有資格參加該計劃。

計劃付款

獎金支付將根據計劃期間的表現在2021年12月31日之後的90天內支付。獎金計算應以適用計劃期間的已支付基本工資為基礎。如果季節性獎金被視為員工年薪的一部分，在一些國家，已支付的基本工資包括基本工資和季節性獎金。已支付的基本工資不包括計劃期間支付的搬遷津貼和報銷、學費報銷、汽車/交通津貼、外籍人員津貼、佣金、長期傷殘津貼或獎金。參與者在支付之日必須是公司的正式在職員工才能收到付款。在計劃期間(2021年10月1日或之前)晉升或聘用到合格職位的員工，其支出將根據晉升或聘用生效日期起已支付的薪資計算，記錄在人力資源系統中。如果員工的目標獎金在這一年內發生變化，獎金將按比例分配。

目標獎金

為每個計劃參與者建立目標獎金作為基本工資的百分比。

資金門檻

本計劃的可用資金總額將根據平衡計分卡衡量的門檻水平和計劃期間的營業利潤率(OM)*績效來確定。在實現OM時，該計劃將獲得全額資金(相當於所有計劃參與者總計的美元金額，相當於每個計劃參與者在計劃期間的目標獎金百分比與已支付基本工資的乘積的2倍)

業績：$[**]M.此全額資金代表所有計劃參與者的最大獎金機會和計劃的最大總成本。

績效矩陣和可用於獎金支付的資金的確定

可用於支付給參與高管的資金水平將基於公司平衡計分卡和OM業績衡量的業績，如下面的第21財年高管獎金資金表所示。表中的金額代表適用的資金倍數。對於所有計劃參與者來説，可用的資金總額將等於每個計劃參與者在計劃期間的目標獎金百分比和支付的基本工資乘以資金倍數後的美元總和。

個人業績與高管獎金支付的確定

每位高管(首席執行官除外)的實際獎金支付金額將基於首席執行官對高管在計劃期間的表現的評估，以及高管獎金業績佔高管獎金目標的百分比的確定。每位高管的績效將根據該高管領導其組織的效率進行評估，這與高管各自組織的關鍵平衡計分卡措施和目標相對照。根據修訂後的1934年證券交易法第16節的規定，每位計劃參與者(首席執行官除外)的獎金業績百分比和由此產生的獎金支付將由首席執行官推薦，並由薪酬委員會審查和批准。CEO的獎金業績百分比和由此產生的獎金支付將由公司董事會決定和批准(CEO迴避)。紅利成就

首席執行官將審查和批准所有其他計劃參與者的百分比和最終獎金支付。

獎金計算

參與者的獎金計算公式為：

參與者在計劃期間的已支付基本工資

X參與者的目標獎金百分比

X參與者的獎金成績百分比

在任何情況下，支付給參與者的獎金不得超過該參與者目標獎金的2倍(即，該參與者在計劃期間支付的基本工資乘以該參與者的目標獎金百分比的2倍)。

一般規定

薪酬委員會(或公司董事會的獨立成員(“獨立董事”))將擔任計劃管理人。薪酬委員會(或獨立董事)應制定其認為適當的規則、法規、解釋和計算，並應採取其認為適當的其他行動來管理該計劃。本計劃的設立不得賦予任何員工或其他人員繼續受僱的任何法律權利，也不得幹擾本公司解僱任何員工並給予他或她待遇的權利，而不考慮該待遇作為計劃參與者可能對他或她造成的影響。(C)本計劃的設立不應賦予任何員工或其他人員繼續受僱的任何法律權利，也不得幹擾本公司解僱任何員工並給予他或她待遇而不考慮該員工作為計劃參與者可能受到的影響。

本計劃由薪酬委員會(或獨立董事)全權負責解釋、管理和執行。涉及本計劃的任何法律糾紛將由加利福尼亞州的法律管轄。薪酬委員會(或獨立董事)可隨時全權決定更改、修訂或終止本計劃。

本計劃是根據KLA績效獎金計劃通過的，規定了2021年日曆年高管年度激勵計劃的條款和條件。

*本計劃中有關營業利潤率的提法是指公司對非GAAP營業利潤率的計算

附錄A

指定子公司名單

1.KLA-天絲(新加坡)私人有限公司

2.KLA-Tencent or Korea Inc.

3.Orbotech Ltd.

4.SPTS科技有限公司