附件32.1

依據“美國法典”第18編第1350條對行政總裁的證明，

根據

2002年薩班斯-奧克斯利法案第906節

我，Michael P.Plisinski，根據美國聯邦法典第18編第1350條(根據2002年薩班斯-奧克斯利法案第906條通過)證明，Onto Innovation Inc.截至2021年6月26日的Form 10-Q季度報告完全符合1934年證券交易法第13(A)或15(D)節(視情況而定)的要求，並且Form 10-Q季度報告中包含的信息在所有重要方面都是公平的。

日期：2021年8月5日